ET4000A 全自動微形狀測量機(jī)
- 公司名稱 深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司
- 品牌 KOSAKA/小坂研究所
- 型號 ET4000A
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2024/9/5 10:56:16
- 訪問次數(shù) 224
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1. 產(chǎn)品概述:
ET4000A 是小坂研究所推出的一款多功能、全自動的微細(xì)形狀測量機(jī),在平板顯示器(FPD)、晶圓、硬盤等納米尺度的測量領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。
2. 設(shè)備應(yīng)用:
o 半導(dǎo)體行業(yè):用于晶圓表面的形貌、臺階高度、粗糙度等參數(shù)的精確測量,對半導(dǎo)體芯片的制造工藝控制和質(zhì)量檢測至關(guān)重要,比如測量晶圓表面的薄膜厚度、刻蝕深度等。
o 平板顯示領(lǐng)域:可檢測 FPD 基板的表面平整度、段差、微觀結(jié)構(gòu)等,保障平板顯示器的顯示質(zhì)量和性能,像液晶面板、OLED 面板等的相關(guān)測量。
o 硬盤制造:能夠測量硬盤盤片的表面粗糙度、磁頭飛行高度等關(guān)鍵參數(shù),對于提高硬盤的存儲密度和讀寫性能有重要意義。
o 精密加工行業(yè):適用于各種精密機(jī)械零部件的表面形狀、尺寸精度測量,有助于提升產(chǎn)品的加工精度和質(zhì)量控制水平,例如精密模具、微型機(jī)械零件等的測量。
o 科研領(lǐng)域:為材料科學(xué)、納米技術(shù)等科研項(xiàng)目提供高精度的微觀形狀測量數(shù)據(jù),支持相關(guān)領(lǐng)域的研究和創(chuàng)新,如納米材料的表面特性研究、微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)器件的形貌分析等。
ET4000A:多功能全自動微形狀測量機(jī)
特點(diǎn):這款測量機(jī)具備多功能性,能夠滿足各種復(fù)雜的測量需求。
應(yīng)用:非常適合需要高精度、多功能測量的應(yīng)用場景,如科研、精密制造等。
ET4000L:可處理大尺寸的全自動微形狀測量機(jī)
特點(diǎn):這款測量機(jī)特別設(shè)計(jì)用于處理大尺寸樣品,具有的穩(wěn)定性和精度。
應(yīng)用:非常適合需要測量大尺寸基板、晶圓等的應(yīng)用場景,如平板顯示器制造、半導(dǎo)體行業(yè)等。
ET4000M:合理、高性能、通用的微形狀測量機(jī)
特點(diǎn):這款測量機(jī)具有合理的價(jià)格、高性能和通用性,能夠滿足大多數(shù)測量需求。
應(yīng)用:非常適合需要高精度測量但預(yù)算有限的應(yīng)用場景,如質(zhì)量控制、產(chǎn)品研發(fā)等。
ET4000系列全自動微形狀測量機(jī)提供了多種型號選擇,以滿足不同應(yīng)用場景和預(yù)算需求。無論您需要測量小尺寸還是大尺寸樣品,高精度還是多功能性,ET4000系列都能提供合適的解決方案。
3. 設(shè)備特點(diǎn):
o 高精度測量:具備出色的臺階再現(xiàn)性與線性度,保證測量結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性,例如在測量微小臺階高度時(shí)能精確到納米級別。
o 超高真直度:確保量測圖形不受干擾,可在真直度保證下進(jìn)行長距離測量,有利于對大型工件或具有長行程特征的樣品進(jìn)行精確測量。
o 先進(jìn)的檢出器:采用超低噪音直動式 LVDT,超低測定力的觸針可任意調(diào)節(jié),既能滿足不同測量需求,又能避免對被測物體表面造成損傷。
o 高分辨率定位:配備高分辨率的 CCD,可即時(shí)進(jìn)行高精度定位測量,有助于快速準(zhǔn)確地找到測量位置,提高測量效率。
o 多功能性:可對應(yīng)各種國際規(guī)范,測定參數(shù)多達(dá) 60 多種,滿足不同行業(yè)和應(yīng)用場景對測量參數(shù)的多樣化需求。
o 廣泛的適用性:適用于各種與納米材料有關(guān)的 MEMS、光電子、精加工表面、生物醫(yī)學(xué)器件、薄膜 / 化學(xué)涂層以及平板顯示等領(lǐng)域,具有很強(qiáng)的通用性。
4. 產(chǎn)品參數(shù)(以P5551A為例):
o 測定工件:
o 最大工件尺寸:210×210mm 至 300×400mm。
o 最大工件厚度:50mm。
o 最大工件重量:2kg。
o 檢出器(pickup):
o z 方向測定范圍:max.100μm。
o z 方向分解能:0.1nm。
o 測定力:0.5μN(yùn) 至 500μN(yùn)。
o 觸針半徑:0.5μm、2μm。
o 驅(qū)動方式:直動式。
o x 軸(基準(zhǔn)軸):
o 移動量(最大測長):100mm。
o 移動的真直度:0.005μm/5mm。
o 測定速度:0.005~2mm/s。
o 位置定位時(shí)速度:max.10mm/s。
o 線性尺(linear scale)分解能:0.01μm。
o 位置定位再現(xiàn)性:±5μm。
o 滑軌材質(zhì):在鑄鐵(CD - 5)上鍍上硬質(zhì) Cr,無潤滑(于移動臺側(cè),使用鐵弗龍折動材料)。
o 驅(qū)動:DC motor + dynamic belt。
o y 軸(位置決定用):
o 移動量:52mm。
o 移動速度:max.3mm/s。
o 滑軌:cross roller 滑軌。
o 驅(qū)動:DC motor + 滾珠螺桿(p = 2mm)。
o 檢出器自動停止機(jī)能。
o 工件臺:
o 工件臺尺寸:210mm×210mm。
o 自動傾斜量:x 為 ±1mm/150mm,y 為 ±1mm/186mm。
o 分解能:0.25μm。
o 驅(qū)動:pulse motor。
o 其他:
o 全自動量測功能。
o 工件觀察:max.80 倍(可選購其它高倍率 CCD)。
o 床臺材質(zhì)為花崗巖石。
o 段差測定再現(xiàn)性:1δ,5a° 以內(nèi)。
o 防振臺(選購):落地型或桌上型。
o 電源:AC100V±10%,50/60Hz,800VA。
o 本體外觀尺寸:W660×D580×H660mm(不含防震臺)。