OCTOS™ 自動薄膜沉積簇工具
- 公司名稱 深圳市矢量科學儀器有限公司
- 品牌 KURT.J.LESKER
- 型號 OCTOS™
- 產地
- 廠商性質 經銷商
- 更新時間 2024/9/5 17:52:50
- 訪問次數 158
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Kurt J. Lesker Company OCTOS集群工具是經過驗證的研發和中試生產系統,用于在多個工藝室之間進行真空傳輸。®
典型應用包括磁隧道結和自旋邏輯器件(GMR、TMR、MRAM、STT)、有機發光器件(OLED)、太陽能電池(PV、OPV)。
OCTOS 集群工具具有單個或多個基板盒負載鎖定功能,并允許在真空中完成工藝配方步驟,而無需將基材暴露在大氣中。OCTOS能夠自動按順序處理基材,一次處理一個基材,或者并行處理基材,以提高產量。提供底物跟蹤功能,并標配全過程數據記錄。
工藝室圍繞中央機器人分配室布置,以適應您的應用。
KJLC 的 eKLipse 軟件允許用戶友好的配方創建以及可靠、不間斷的控制器,無論計算機用戶界面的狀態如何,都可以完成過程。有關此直觀、可靠的軟件包的更多信息,請參閱“軟件”選項卡
自 1999 年以來,KJLC 一直在制造 OCTOS 集群工具平臺。我們的大多數 OCTOS 集群工具已成為其所有者的主力軍,并且仍在日常使用,包括已經處理了超過 100 萬個基材的工具。
提供的技術:
電子束蒸發
熱蒸發
磁控濺射
有機蒸發
原子層沉積
選項:
HV 或 UHV 工藝模塊
等離子清洗
基板退火
口罩儲存和原位口罩更換
手套箱集成
定制工藝模塊
轉移到真空分析室,如XPS
與第三方工藝室(如 PLD 或 CVD)集成