THERMA-WAVE TP 630 晶圓檢測儀
- 公司名稱 深圳市達瑞博電子有限公司
- 品牌 KLA-Tencor
- 型號 THERMA-WAVE TP 630
- 產地 美國
- 廠商性質 經銷商
- 更新時間 2024/9/23 20:43:40
- 訪問次數 325
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產地類別 | 進口 | 應用領域 | 電子,綜合 |
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THERMA-WAVE TP 630 晶圓檢測儀
是一種先進的晶圓測試和計量設備,廣泛應用于半導體、數據存儲和光伏產業。該設備具備多種尖duan技術,能夠提供高精度的測量結果和詳細的圖像。
TP 630 設備具有紅外激光掃描光學器件和雙色高溫計,可以測量晶圓厚度、地形和表面粗糙度等參數,最大吞吐量為每小時600個晶圓。此外,它還利用各種接觸和非接觸計量技術,包括現場實時晶圓測量,以確保精確的結果。
TP 630 XP 版本則進一步增強了其功能,配備了先進的紅外成像技術和分析技術,能夠快速準確地分析復雜的三維結構,并且具備高精度的運動和定位精度。這種設備特別適用于需要高效生產能力和高速度的制造環境。
此外,TP 630 還支持傳統的200毫米硅晶圓以及新的300毫米硅晶圓,使其在不同尺寸的晶圓上都能進行有效的測試和計量。該設備設計堅固可靠,適用于潔凈環境和具有挑戰性的工業環境。
總之,THERMA-WAVE TP 630 晶圓測試儀憑借其高精度、多功能性和強大的計量能力,成為半導體制造和研究領域中不ke或缺的工具。
產品概述
高精度、高重復性和高速生產能力
設計用于測量模具、結構和微米的開創性能力
支持高達300毫米晶圓的離子注入測量技術
主要功能
自動化晶圓測試和計量設備
提供高分辨率成像和多傳感器分析
紅外激光掃描光學器件和雙色高溫計測量晶圓厚度、地形、表面粗糙度等
應用領域
半導體制造和研究應用
數據存儲和光伏產業
技術特點
先進的紅外成像技術和晶圓過程控制分析技術
包括高精度的運動和定位精度、強大的圖形用戶界面以及用戶可配置的設計