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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>組裝與封裝設備>鍵合機>XBC300 Gen2 D2W/W2W 晶圓鍵合機

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XBC300 Gen2 D2W/W2W 晶圓鍵合機

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SUSS晶圓鍵合

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深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術服務的高新技術企業。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設備、半導體光電測試儀表及相關儀器裝備維護、保養、售后技術支持及實驗室整體服務。

公司目前已授實用新型權利 29 項,軟件著作權 14 項,是創新型中小企業、科技型中小企業、規模以上工業企業。

 

 

 

 

 

 

 

 

冷熱臺,快速退火爐,光刻機,納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發

1.產品概述:

新型的 XBC300 Gen2 D2W/W2W 設備是將所有現有混合鍵合工藝集成到單一設備中的平臺: W2W、集體 D2W 和順序 D2W。XBC300 Gen2 D2W/W2W 是蘇斯微技術公司與高精度倒裝芯片鍵合機供應商 SET Corporation SA 合作開發的成果。與傳統的獨立式 W2W 和 D2W 平臺相比,XBC300 Gen2 D2W/W2W 的占地面積顯著減少。投資成本大大降低,因為在獨立系統中冗余的工藝模塊只使用一次。XBC300 Gen2 D2W/W2W 是一個功能強大、高度靈活的通用平臺,可提高混合鍵合工藝的開發,適用于系統芯片 (SoC) 和堆疊集成電路 (SIC) 等高三維堆疊應用。

2.應用領域

XBC300 Gen2 D2W/W2W 為研發線或 RTOs(研發和技術組織)的需求量身定制,這些研發機構或 RTOs 期望先注于一種工藝,但同時希望在未來開發更多的混合鍵合工藝。所有工藝開發都采用類似的核心技術,并配有用于 D2W 和 W2W 的用獨立系統。這樣就可以方便可靠地從研發轉向小批量和大批量生產。

3.產品優勢

除了具有 < +/- 50nm 對準精度的 W2W 鍵合所需工藝模塊外,XBC300Gen2 D2W/W2W 還具有技術合作伙伴 SET Corporation SA 提供的集成 NEO HB 芯片鍵合機,可提供 +/-100nm 的對準精度。高精度和吞吐量優化的測量模塊可在線驗證所有工藝中 W2W 和 D2W 鍵合的對準精度。XBC300Gen2 D2W/W2W 以 XBC300 Gen2 為基礎,可處理框架載體上的超薄微芯片。





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