TU-3100/J TAISEI大成技研 蝕刻廢氣除粉真空裝置
| 參考價 | ￥ 14833 |
| 訂貨量 | ≥1件 |
- 公司名稱 池田屋實業(深圳)有限公司
- 品牌 TAISEI/日本
- 型號 TU-3100/J
- 產地 日本
- 廠商性質 經銷商
- 更新時間 2024/8/7 17:06:57
- 訪問次數 170
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| 產地類別 | 進口 | 價格區間 | 1萬-2萬 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 環保,化工,生物產業,制藥,綜合 |
TAISEI大成技研 蝕刻廢氣除粉真空裝置
TAISEI大成技研 蝕刻廢氣除粉真空裝置
大成技研株式會社提供的“氣體粉末去除裝置”主要去除半導體、液晶制造設備（離子注入、CVD、蝕刻等）中排出的氣體反應生成物（微細粉末）。
特別是，通過旋轉渦流吸附和高性能磁性元件，可以排除離子注入和CVD設備中產生的1μm以下的反應產物。該裝置在元件內幾乎沒有壓力損失，可用于真空泵的前級和后級，是一種創新的粉末捕集器，可以輕松處理現有過濾器無法去除的細粉末。它有望顯著減少維護工時并提高生產率。
TRAPACK是一種粉末去除捕集器，可去除半導體和液晶制造設備廢氣中的反應產物（細粉）。結構有渦流旋流吸附型、磁性元件型（Trapac Element）以及兩者結合的組合型三種。特別是，組合型排除了蝕刻設備和CVD設備發出的亞微米細粉。
清潔廢氣管道 減少前線閥門的維護 真空泵故障預防 提高生產力 減少前線維護
外觀結構 特征
去除細小反應產物（細粉）
單元密度低，網格空隙大
粉末分層在元件的表面和內部。
主要用途 規格
注入 ?一次元件/Trapac元件
蝕刻 ?次要元素/無
安裝位置/真空、排氣
TU-KN100
（元件型） 主要用途：通用
元件類型：DL
端口尺寸：NW25
尺寸：D90mm x H195mm
重量：1.9kg
TU-KN200
（元件型） 主要用途：通用
元件類型：EL
端口尺寸：NW40
尺寸：D140mm x H210mm
重量：4.6kg
TU-KN500
（元件型） 主要用途：通用
元件類型：GL
端口尺寸：NW40
尺寸：D210mm x H260mm
重量：10kg
TU-KN500W
（元件型） 主要用途：通用
元件類型：HL
接管尺寸：NW40
尺寸：D210mm x H390mm
重量：13kg
TU-200
（元件型） 主要用途：
植入 元件類型：EL
連接尺寸：NW25
尺寸：D210mm x H210mm
重量：5.3kg
TU-250
（元件型） 主要用途：
植入 元件類型：FL
連接尺寸：NW40
尺寸：D210mm x H295mm
重量：6.5kg
TU-500
（元件型） 主要應用：廠內/蝕刻
元件類型：GL
連接直徑：NW40
尺寸：D300mm x H267mm
重量：10.0kg
TU-500W
（元件型） 主要應用：植入/蝕刻
元件類型：HL
連接尺寸：NW40、NW50
尺寸：D300mm x H415mm
重量：13kg
TU-1000
（元件型） 主要應用：就位/蝕刻
元件類型：GL
連接尺寸：NW40、NW50
尺寸：D300mm x H555mm
重量：16.5kg
頁首
TRAPPACK（Uzu型）
這是一種氣體除粉裝置，是 Trapac 的進一步發展，配備了漩渦型元件。
外觀結構 特征
由于螺旋結構，粉末不會長時間經歷壓力損失
幾乎所有粉末都被渦流數和渦流螺距的組合拒之門外。
粉末分層在安裝的渦流元件的表面上。
?主要用途 / CVD、蝕刻 ?一次元件 / 渦流元件
?二次元件 / 無 ?安裝位置 / 真空、排氣
TU-50LM /LMJ
(渦流型) 主要用途：蝕刻/CVD
元件類型：ASD-50 渦流
連接尺寸：NW40、NW50
尺寸：□370mm x H707mm
重量：53kg / 68kg
TU-65LM /LMJ
(渦流型) 主要用途：蝕刻/CVD
元件類型：ASD-65 渦流
連接尺寸：NW40、NW50
尺寸：□400mm x H1013mm
重量：94kg / 99kg
TU-85LM /LMJ
(渦流型) 主要用途：蝕刻/CVD
元件類型：ASD-85 渦流
連接尺寸：NW40、NW50
尺寸：□430mm x H1064mm
重量：100kg / 115kg
TU-95LM /LMJ
(渦流型) 主要用途：蝕刻/CVD
元件類型：ASD-95 渦流
連接尺寸：NW40、NW50
尺寸：□485mm x H1064mm
重量：145kg / 160kg
TU-105LM /LMJ
(渦流型) 主要用途：蝕刻/CVD
元件類型：ASD-105 渦流
連接尺寸：NW40、NW50
尺寸：□535mm x H1264mm
重量：180kg / 240kg
頁首
TRAPPACK（組合型）
TRAPACK的進一步進化，配備組合型元件（渦流型+元件型）的氣態除粉裝置。
外觀結構 特征
去除細小反應產物（細粉）
單元密度低，網格空隙大
粉末在螺旋和元件部分分層。
?主要用途 / CVD、蝕刻 ?一次元件 / 渦流元件
?二次元件 / Trapak 元件 ?安裝位
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