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KS-S150-4ST 去膠機(jī)

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去膠

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測(cè)試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測(cè)試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實(shí)驗(yàn)室整體服務(wù)。

公司目前已授實(shí)用新型權(quán)利 29 項(xiàng),軟件著作權(quán) 14 項(xiàng),是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。

 

 

 

 

 

 

 

 

冷熱臺(tái),快速退火爐,光刻機(jī),納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

1. 產(chǎn)品優(yōu)勢(shì):

該設(shè)備具備出色的靈活性,能夠兼容處理4英寸及6英寸的晶圓,適應(yīng)不同規(guī)模和需求的生產(chǎn)線。其設(shè)計(jì)考慮到多種工藝要求,支持兩種去膠液擺臂,有效提升去膠效率。此外,變速掃描功能的引入使得處理過(guò)程更加精細(xì)可調(diào),用戶可以根據(jù)實(shí)際需求快速調(diào)整掃描速度,以獲取最佳的去膠效果。

在工藝流程方面,該設(shè)備采用“干進(jìn)干出”的晶圓加工模式,這一模式不僅提高了處理的效率,也最大限度地減少了濕潤(rùn)環(huán)境對(duì)晶圓的潛在影響,從而確保晶圓在整個(gè)加工過(guò)程中的均勻性和穩(wěn)定性。

此外,為了響應(yīng)可持續(xù)發(fā)展的需求,該設(shè)備配備了先進(jìn)的化學(xué)液循環(huán)再利用系統(tǒng)。這一系統(tǒng)能夠有效回收和循環(huán)利用加工過(guò)程中使用的化學(xué)藥液,降低資源消耗與廢物產(chǎn)生。同時(shí),在金屬回收和藥液分類排放方面,設(shè)備具備高效的處理能力,能夠?qū)⒉煌N類的廢液進(jìn)行分類并安全排放,減少污染和環(huán)境負(fù)擔(dān),這不僅符合行業(yè)環(huán)保要求,也為企業(yè)降低了生產(chǎn)成本。

2. 應(yīng)用域:

LED芯片制造
圖形化襯底制造

適用于半導(dǎo)體及LED芯片制造域中的光刻膠去除、金屬剝離等工藝制程






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