1. 產(chǎn)品概述

BIO系列是生命科學版的無掩膜紫外光刻機，該設(shè)備具有更高的深寬比，能滿足生命科學域的特殊需求。它主要用于制備像微流控芯片之類的具有特定需求的樣品 。在微流控芯片的制造過程中，其高深寬比和高靈活性的特點得以展現(xiàn)，可確保芯片的質(zhì)量和性能。這使得它成為生命科學研究和相關(guān)應用中的重要工具。BIO 系列的出現(xiàn)為生命科學域帶來了新的機遇，有助于推動相關(guān)技術(shù)的發(fā)展和創(chuàng)新，為科學研究和實際應用提供有力支持。

特征尺寸1μm

無掩膜光刻機

高深比

2. 應用領(lǐng)域

微流道芯片

二維材料

光學掩膜版

MEMS器件

灰度光刻

特殊微納結(jié)構(gòu)

3. 公司概要

托托科技（蘇州）有限公司是一家注于顯微光學加工和顯微光學檢測域的公司，在基于數(shù)字微鏡器件的無掩膜光刻技術(shù)域中進行了數(shù)年的深入研究和技術(shù)積累，其研制和生產(chǎn)的無掩膜紫外光刻機一經(jīng)問世，就受到了諸多客戶的青睞，在科研和工業(yè)域都有廣泛的應用。例如，在微納加工域，可以用于制作MEMS器件、微流控芯片、微型傳感器等；在光電子域，可以用于制作光柵、衍射光學元件等。

托托科技致力于設(shè)備底層技術(shù)的研究和積累，不斷尋求技術(shù)的突破，努力為客戶帶來更好的設(shè)備和更好的使用體驗，幫助客戶創(chuàng)造更高的價值。