LSA 101 激光退火爐
具體成交價以合同協議為準
- 公司名稱 深圳市矢量科學儀器有限公司
- 品牌 Veeco
- 型號
- 產地
- 廠商性質 經銷商
- 更新時間 2024/8/13 10:43:38
- 訪問次數 198
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Veeco 的 LSA101 系統安裝在 IDM 和晶圓代工廠，是大批量制造 40nm 至 14nm 節點的先進邏輯器件的技術。LSA 101 的掃描技術基于 Veeco 的可定制 Unity 平臺™構建，在均勻性和低應力處理方面具有根本優勢。LSA101 系統可實現關鍵的毫秒級退火應用，使客戶能夠保持精確、有針對性的高加工溫度，從而提高設備性能、降低泄漏和提高產量。
標準 LSA101 配置利用單束窄激光束將晶圓表面從襯底溫度加熱到峰值退火溫度。為了應對日益復雜的工藝需求，Veeco 開發了一種雙光束技術，該技術擴大了非熔融激光退火的應用空間，并具有第二個低功率激光束以實現低溫加工。當使用雙光束時，會結合第二個更寬的激光束來預熱晶圓。雙光束系統在調節溫度和應力分布方面提供了靈活性。
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