LGR推出的/氟化氫分析儀可以同時測量大氣環境或者工業流程中的HCl、HF和水汽濃度，高精度、高靈敏度。分析儀可以提供秒級的測量速度，同時精度達到ppb級。測試結果表明，分析儀不受其他氣體種類和氣壓的干擾。

分析儀采用LGR設計的離軸積分腔輸出光譜（OA-ICOS）技術，它消除了CRDS技術在測量期間需要連續進行光腔與激光波長匹配以改善信號強度微弱的缺點，使得分析儀不再需要進行復雜的激光準直調整、溫度控制和波長監控。可以實時顯示高分辨率激光吸收光譜。采用內置計算機（Linux OS）以提供數據的連續存儲和測量。具有遠程控制功能，用戶可以通過網絡在任意地點對分析儀進行操作，也可以通過遠程登錄實時共享數據，并進行儀器診斷。

特點：

      1.      的測量響應

      2.      濃度測量范圍更寬

      3.      低能耗，更適合野外現場應用

      4.      采用LGR控溫技術，實現最小漂移與超高穩定性

      5.      HCl與HF同時測量

性能指標：

      再現性/精度 Repeatability/Precision（1σ）：

      HF: <0.1 ppb（1 sec）、<0.07 ppb（10 sec）、<0.05 ppb（100 sec）

      HCl: <0.4 ppb（1 sec）、<0.25 ppb（10 sec）、<0.1 ppb（100 sec）

       響應時間 Response Time(Flow time through meas. Cell):

        <2 s (with external N920 vacuum pump)

測量量程 ：

        HF: 0.3-20000 ppb

        HCl: 0.3 -2000 ppb

運行范圍:

       HF: 0-10 ppm

       HCl: 0-10 ppm

       H2O: 10-20000 ppm (無冷凝)