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晶圓缺陷檢測:寬場熒光顯微成像模組

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北京卓立漢光儀器有限公司是一家集光學、精密機械、電子、計算機技術于一體的高*技術企業(yè)。卓立漢光自1999年起,通過數(shù)年的不斷努力,成長為光電儀器廠商之一。目前公司的電控位移臺、手動位移臺、光學調整架等產品已經形成產品系列化,規(guī)格多元化,國內多家科研單位、激光加工設備廠商、光纖設備廠商在使用我們的產品。2000年推出我司套量產型三光柵光譜儀后,不斷推出了多套熒光、拉曼、光電探測器光譜響應、太陽能電池檢測等光譜測量系統(tǒng),廣泛應用在眾多高校和科研院所的研究與試驗,為國家科技創(chuàng)新貢獻了一份力量,產品憑借優(yōu)良的品質遠銷歐美、東南亞等海外市場。 2005年10月在同行業(yè)中通過ISO9001質量管理體系SGS認證。2010年取得國家高*技術企業(yè)認定,2016年卓立漢光技術中心順利通過市級技術中心評審。

 

卓立漢光主要生產經營:熒光/拉曼光譜系統(tǒng)、各類光譜測量系統(tǒng)、太陽能電池檢測儀器、光柵光譜儀、各類型光源及探測器、電控精密位移臺、手動精密位移臺、光學調整架、光學平臺、光學元件等系列產品。


我們誠心聆聽用戶的需要與批評,作為不斷改進的動力,能讓您滿意卓立漢光的產品及服務,就是我們的成就。因此我們以卓立漢光的光機產品提供 “終身保固”的承諾,來表達我們對產品的信心。


我們堅持從設計、零件選型、制造、裝配、檢驗、包裝、運輸、直到售后服務做好*質量保證,就是要讓您 “付有所值”,以合理的價位得到優(yōu)質的產品,這是我們對您選擇卓立漢光真誠的回報。

卓立漢光始終以滿足用戶需求為宗旨,分別于上海、深圳、成都、西安設立分公司,為用戶提供及時周到的銷售與技術服務。“研發(fā)創(chuàng)新、快速反應、優(yōu)質服務” 是我們的經營理念, 公司長期重視優(yōu)質高效、短時間為客戶開發(fā)產品及提供技術支持。卓立漢光真誠地希望與國內外同仁攜手合作,為推動我國光電產業(yè)迅猛發(fā)展做出貢獻。

 

 

 

光譜儀,拉曼光譜,熒光光譜,太陽能電池檢測,位移臺,滑臺,光學調整架,電動滑臺,光學平臺,光學元件

晶圓缺陷檢測:寬場熒光顯微成像模組

Wide-field Fluorescence Microscope Module

  • 晶圓缺陷檢測:寬場熒光顯微成像模組以自動化顯微鏡模組為基礎,針對 SiC 等化合物半導體晶圓位錯、層錯等缺陷檢測需求。

  • 無須化學腐蝕、解理等樣品前處理工藝,非接觸、無損、整晶圓檢測。

晶圓缺陷檢測:寬場熒光顯微成像模組

產品特性和核心技術:

激光自動聚焦。

  • 自主研制的激光輔助離焦量傳感器。

  • 可在紫外激發(fā)光照射樣品并采集熒光信號的同時工作,實現(xiàn)自動聚焦和表面跟蹤。

紫外暗場照明。

  • 標配波長 275 nm 紫外激發(fā)光,可按用戶要求定制其它波長激發(fā)光。

  • 可同位采集明場顯微像、可見光波段暗場熒光像、紅外波段暗場熒光像,分析樣品中位錯、層錯等。

  • 晶格缺陷的分布。

全自動操作。

  • 自動化的控制軟件和數(shù)據(jù)處理軟件,全軟件操作。

相關國家標準:

  • 《中華人民共和國國家標準 GB_T 43493.3-2023 半導體器件 功率器件用碳化硅同質外延片缺陷的無損檢測識別判據(jù) 第 3 部分:缺陷的光致發(fā)光檢測方法》(2023 年 12 月 28 日發(fā)布,2024 年7月1日實施)

性能參數(shù):

晶圓缺陷檢測:寬場熒光顯微成像模組

應用案例:

6 英寸 SiC 外延片缺陷檢測

堆疊層錯(SF)

晶圓缺陷檢測:寬場熒光顯微成像模組

基面位錯(BPD)

晶圓缺陷檢測:寬場熒光顯微成像模組




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