PZ-Mico D 納米白光干涉儀 表面細微三維形貌測量
參考價 | ¥ 580000 |
訂貨量 | ≥1臺 |
具體成交價以合同協議為準
- 公司名稱 北京品智創思精密儀器有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 PZ-Mico D
- 產地
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2024/10/25 18:33:13
- 訪問次數 543
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產地類別 | 國產 | 價格區間 | 面議 |
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應用領域 | 電子,航天,汽車 |
納米白光干涉儀 表面細微三維形貌測量系統基于白光干涉儀原理、結合Z向精密壓電掃描模塊和三維重建算法準確獲 得各種精密器件和材料表面形貌數據,適用于反 射率0.05%-100%、超光滑至粗糙等多種表面測量求,能夠實現納米級精度測量、重構表面形 貌3D輪廓。
納米白光干涉儀 表面細微三維形貌測量技術參數:
型號:PZ-Mico D
測試技術: 3D相干掃描干涉法,抗震算法,移相干涉法
光源:固態白光光源,軟件控制切換光譜(VSI和PSI)
掃描裝置:精密壓電陶瓷驅動,閉環反饋電容控制精密壓電陶瓷
像素分辨率:1280X1024
視場: 10倍范圍1200X950
縱向掃描范圍:25mm
橫向分辨率:0.05-2.68µm
軸向分辨率:VSI:0.5nmPSI:0.1nm
臺階高度精度(示值誤差)±0.1nm(5µm標準臺階)
臺階高度重復性:0 . 1%1σ(5µm標準臺階
粗糙度 RMS 2
粗糙度RMS重復性:0.01nm
被測樣品反射率:0.05%-100%
Z軸:電動Z平臺100mm,1μm分辨率)
位移臺:電控平臺移動范圍XY:100x100mm
產品細節
應用范圍