INTELLIDRIVES開放式 XY 旋轉平臺
- 公司名稱 天津瑞利光電科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產地
- 廠商性質 經銷商
- 更新時間 2024/7/5 15:30:53
- 訪問次數 163
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光電設備、光學儀器、機電設備及配件、電氣成套設備、工業自動化控制設備、電子設備、智能設備、通訊設備、儀器儀表、實驗室設備、五金交電、電線電纜、環保設備、汽車配件、工藝品、辦公用品的銷售；自營和代理貨物及技術的進出口業務；光電設備安裝、調試及檢修
| 產地類別 | 進口 | 價格區間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 儀器材質 | 全木實驗臺 | 儀器結構 | 雙面（中央）實驗臺 |
| 應用領域 | 電子,電氣 |
天津瑞利光電科技有限公司優勢經銷INTELLIDRIVES開放式 XY 旋轉平臺XY-OF-UL-200X200+ACR160UT
產品型號：XY-OF-UL-200X200+ACR160UT
產品介紹
集成系統將線性或 XY 平臺與轉臺相結合，提供交鑰匙解決方案。 平臺可配備直接驅動直線電機或基于滾珠絲杠的機械裝置。
性能特點
開放式 XY 旋轉平臺設計用于半導體制造行業中的晶圓處理和許多其他自動化定位應用。 位于單元側面的 XY 驅動機構和大型中心通孔轉臺提供了清晰通暢的晶圓訪問。
技術參數
XY臺：XY-OF-UL-200x200
旋轉臺：ACR-160UT
電機類型：無刷伺服電機/編碼器（標準）
直線伺服電機（選件）
XY行程：200 x 200 mm
中心孔徑：直徑160 mm
分辨率（線性）：1 micron（注 1,2）
2.5 micron（注3）
分辨率（旋轉）：1.4 arc-sec
重復性（線性）：5 micron（注3）
1 micron（注 1,2）
重復性（旋轉）： 2 arc-sec
速度：400mm/sec（注 3）
800mm/sec（注2）
負載重量： 30 kg
載物臺重量：16 kg
（注1）帶線性編碼器（可選）
（注2）直線伺服電機（可選）
（注 3）滾珠絲杠 10 mm 導程，無刷伺服驅動
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