ELEDE® 380系列芯片刻蝕機

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芯片刻蝕機 ELEDE® 380系列北方華創

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公司介紹 主營產品

深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術服務的高新技術企業。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設備、半導體光電測試儀表及相關儀器裝備維護、保養、售后技術支持及實驗室整體服務。

公司目前已授實用新型權利 29 項，軟件著作權 14 項，是創新型中小企業、科技型中小企業、規模以上工業企業。

展開

冷熱臺，快速退火爐，光刻機，納米壓印、磁控濺射，電子束蒸發

1. 產品概述

ELEDE® 380系列 芯片刻蝕機，先進的等離子體發生裝置，適用多種材料刻蝕，工藝窗口寬。

2. 設備用途/原理

先進的等離子體發生裝置，適用多種材料刻蝕，工藝窗口寬。多片式托盤，實現高產能，同時確保優異的刻蝕均勻性。全路徑全真空，全自動晶圓傳輸，顆粒控制優。工藝套件設計，更長的耗材壽命。

3. 設備特點

晶圓尺寸4、6 英寸及特殊尺寸。適用材料藍寶石、氮化鎵、氧化硅 / 氧化鈦、砷化鎵、磷化鎵、鋁鎵銦磷、氧化硅、氮化硅、鈦鎢、有機物。適用工藝 PSS 刻蝕、電刻蝕、深槽隔離刻蝕、介質反射層（DBR）刻蝕、紅黃光刻蝕、鈍化層刻蝕、金屬阻擋層刻蝕。適用域化合物半導體。