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薄層方塊電阻測量儀-非接觸式

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上海昊量光電設備有限公司  
Aunion Tech Co., Ltd
專業源自專注  專注成就未來

自2008年成立以來,昊量光電專注于光電領域的技術服務與產品經銷,致力于引進guo外*先進性與創新性的光電技術與可靠產品,為國內Z前沿的科研與工業領域提供優質的產品與服務,助力中國智造與中國創造! 目前,昊量光電已經與來自美國、歐洲、日本的多家光電產品制造商建立了緊密的合作關系。其代理品牌均處于相關領域的發展前沿,產品包括各類激光器、光電調制器、光學測量設備、精密光學元件等,所涉足的領域涵蓋了材料加工、光通訊、生物醫療、科學研究與國防等。

昊量光電堅持“專業源自專注,專注成就未來”的經營理念。近年來,我們專注于前沿的細分市場,為量子光學、生物顯微、物聯傳感、精密加工、先進激光制造等領域的客戶提供系統解決方案。

作為一家以技術溝通與技術服務見長的高科技企業,我們所有的銷售與技術服務團隊成員都具有理工科方面的專業背景,并在公司接受相關領域的專業培訓,在售前技術溝通、售后產品安裝培訓、產品問題解決、軟硬件增值服務等方面為客戶提供更加專業化的服務!我們專業高效的商務與物流部門憑借多年積累的貿易經驗與規范化的制度流程,保障每一筆訂貨準時安全到達目的地,免除客戶的后顧之憂!

秉承誠信、高效、創新、共贏的核心價值觀,昊量光電堅持以誠信為基石,憑借高效的運營機制和勇于創新的探索精神為我們的客戶與與合作伙伴不斷創造價值,實現各方共贏!

立足于光電產業,昊量光電始終堅持價值創造與創新,贏得客戶與合作伙伴的認可,不斷拓展業務領域的新邊疆,立志打造的代理服務品牌!

 

激光器調制器,激光測量加工設備,光學部件,光譜儀,光纖器件,晶體,精密定位系統掃描系統,探測器光子計數器,專用實驗設備,相機

產地類別 進口 價格區間 0-5萬
應用領域 綜合

薄層方塊電阻測量儀-非接觸式


昊量光電新推出用于導電薄膜和薄金屬層方塊電阻測量的非接觸式薄膜四方針方塊電阻方阻測量儀EddyCus TF Series,這款非接觸式薄膜四方針方塊電阻方阻測量儀可以非接觸式實時測量,對導電薄膜和金屬方塊電阻精確測量,表征已被隱藏和封裝的導電層,并把測量數據保存和導出。 可用于方塊電阻,方阻測量,四探針測試,四探針方阻測量。


薄層方塊電阻測量儀-非接觸式主要測試對象:

  • 鍍膜建筑玻璃,如LowE

  • 顯示器,觸摸屏和平板顯示器

  • OLED和LED

  • 智能玻璃

  • 石墨烯層

  • 光伏晶圓和電池

  • 半導體晶片

  • 金屬化層和晶圓金屬化

  • 電池電極

  • 導電涂布紙和導電紡織品


非接觸式單點方阻測試儀EddyCus TF Lab 2020SR


EddyCus TF Lab 2020SR是非接觸式單點薄層電阻測量系統。該裝置包含一個渦流傳感器組,感應弱電流到導電薄膜和材料。非接觸式薄膜四方針方塊電阻方阻測量儀試樣中的感應電流產生與測量對象的片電阻相關的電磁場。電渦流技術不依賴于表面特征或形貌。此外,非接觸式單點方阻測試儀不需要如已知的2或4點探針測試(2PP, 4PP)或霍爾效應或范德波測量一樣進行任何形式的充分的樣品接觸或備樣。非接觸式單點方阻測試儀既不需要設置測試結構,也不受表面粗糙度或非導電封裝或鈍化層的影響。此外,測量不會對被測薄膜產生物理影響。渦流儀器不存在機械磨損,使用壽命長。它的獨立性與接觸質量和它的高速允許實現高重復性和準確性,有利于在研發和測試實驗室的各種薄膜的系統質量保證。EddyCus工具可以由具有各種數據記錄和導出功能的SURAGUS軟件驅動,也可以由SURAGUS軟件開發套件驅動的客戶軟件驅動。


非接觸式單點方阻測試儀軟件和設備控制:

  • 非常用戶友好的軟件

  • 直觀的觸摸顯示導航

  • 實時測量板材電阻和層厚

  • 軟件輔助手動映射選項

  • 各種數據保存和導出選項


非接觸式薄膜四方針方塊電阻方阻測量儀產品規格表

Measurement technologyNon-contact eddy current sensor
substratesFoils, glass, wafer, etc.
Substrate area8 inch / 204 mm x 204 mm (open on three sides)
Max. sample thickness / sensor gap3 / 5 / 10 / 25 mm (defined by the thickest sample)
Thickness measurement range of metal films (e.g. copper)2 nm – 2 mm (in accordance with sheet resistance (cf. our calculator))
Device dimensions (w/h/d)11.4” x 5.5” x 17.5” / 290 mm x 140 mm x 445 mm
Weight10 kg
Further available featuresSheet resistance measurement / metal thickness monitor
 VLSRLSRMSRHSRVHSR

6 decades are measurable by one sensor, but with slightly affected accuracy
Range [Ohm/sq]0.0001 – 0.10.1 – 100.1 – 10010 – 20001,000 – 200,000
Accuracy / Bias± 1%± 1 – 3%± 3 – 5%
Repeatability (2σ)< 0.3%< 0.5%< 0.3%
VLSR – Very Low Sheet Resistance , LSR – Low Sheet Resistance , MSR – Medium Sheet Resistance , HSR – High Sheet Resistance , VHSR – Very High Sheet Resistanc

非接觸式薄膜四方針方塊電阻方阻測量儀

非接觸式方阻成像儀EddyCus TF Map 2530SR




EddyCus TF Map 2530SR是一種非接觸式薄層電阻映射系統。該設備配備了一個運動的渦流傳感器,每次掃描可測量高達90000 (300 x 300)測量點的方塊電阻。由于這種技術不需要與標本進行物理接觸,該設備可以在飛行運動中進行測量。此外,非接觸式單點方阻測試儀具有很高的準確性,因為它是獨立于任何接觸質量。非接觸式薄膜四方針方塊電阻方阻測量儀樣品中測量點的高密度確保了沒有遺漏任何效果或缺陷。此外,綜合分析功能支持生產和研發實驗室中各種薄膜的系統質量保證。

產品規格:

Measurement technologyNon-contact eddy current sensor
SubstratesWafer, glass, foils etc.
Max. scanning area12 inch / 300 mm x 300 mm (larger upon request)
Edge effect correction / exclusion2 – 10 mm (depending on size, range, setup and requirements)
Max. sample thickness / sensor gap3 / 5 / 10 / 15 mm (defined by the thickest sample)
Thickness measurement of metal films (e.g. aluminum, copper)2 nm – 2 mm (in accordance with sheet resistance ())
Scanning pitch1 / 2.5 / 5 / 10 / 25 mm (other upon request)
Measurement points per time (square shaped samples)100 measurement points in 0.5 minutes
10,000 measurement points in 3 minutes
Scanning time8 inch / 200 mm x 200 mm in 1 to 10 minutes (1 – 10 mm pitch)
12 inch / 300 mm x 300 mm in 2 to 6 minutes (2.5 – 25 mm pitch)
Device dimensions (w/h/d)31.5” x 19.1” x 33.5” / 785 mm x 486 mm x 850 mm
Weight90 kg
Further available featuresMetal thickness imaging, anisotropy and sheet resistance sensor




 VLSRLSRMSRHSRVHSR

6 decades are measurable by one sensor, but with slightly affected accuracy
Range [Ohm/sq]0.0001 – 0.10.1 – 100.1 – 10010 – 2,0001,000 – 200,000
Accuracy / Bias± 1%± 1 – 3%± 3 – 5%
Repeatability (2σ)< 0.5%< 1%< 0.5%
VLSR – Very Low Sheet Resistance , LSR – Low Sheet Resistance , MSR – Medium Sheet Resistance , HSR – High Sheet Resistance , VHSR – Very High Sheet Resistance

便攜式方塊電阻測試儀

EddyCus TF便攜式1010SR專用于工業環境中的接觸片電阻測量。它使各種行業的手工質量保證成為可能。

Measurement technologyEddy current sensor
Measurement modeRealtime at constant distance  / contact
SubstratesGlass, foils etc.
Substrate sizesFlat samples > 150 mm x 150 mm (6 inch x 6 inch)
Curved editions are available for several applications (windshields etc.)
Measurement spot / high sensitivity zone40 mm diameter (1.6 inch)
PowerLithium ion battery up to 20 h
Sheet resistance range (five setups available)Type very low:    0.001 – 0.1 Ohm/sq
Type low:             0.04 – 0.1 Ohm/sq
Type standard:        0.3 – 30 Ohm/sq
Type high:               0.3 – 50 Ohm/sq
Type very high:       0.3 – 100 Ohm/sq
Thickness measurement of thin films (e.g. copper)Additional feature, available range is 5 nm – 500 µm (in accordance with sheet resistance)
Emissivity rangeAdditional feature, available range is 0.003 – 0.5
Accuracy (for planar solid surfaces, e.g. glass)0.001 – 50 Ohm/sq:  < 3%
50 – 100 Ohm/sq:     < 5%
DISPlay2.8 inch colored touch screen
Device dimensions (w/h/d)3.5” x 7” x 1.9” / 87 mm x 178 mm x 48 mm
Weight340 g
InterfacesBluetooth (optional) + data center


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關于昊量光電:

上海昊量光電設備有限公司是光電產品專業代理商,產品包括各類激光器、光電調制器、光學測量設備、光學元件等,涉及應用涵蓋了材料加工、光通訊、生物醫療、科學研究、國防、量子光學、生物顯微、物聯傳感、激光制造等;可為客戶提供完整的設備安裝,培訓,硬件開發,軟件開發,系統集成等服務。




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