| 泵軸位置 | 其他 | 抽氣量 | 見參數 |
|---|---|---|---|
| 抽氣速率 | 見參數l/s | 電壓 | 見參數V |
| 功率 | 見參數kW | 極限壓力 | 見參數pa |
| 流量 | 見參數m3/h | 排出口徑 | 見參數mm |
| 輸送介質 | 其他 | 外形尺寸 | 見參數 |
| 揚程 | 見參數m | 葉輪數目 | 其他 |
| 應用領域 | 食品,化工,能源,建材,綜合 | 重量 | 見參數kg |
| 最大工作壓強 | 見參數 | 訂貨號 | 175.030.770.78 周璇 |
ULVAC愛發科 LS 系列 螺桿型干泵 真空泵
ULVAC愛發科 LS 系列 螺桿型干泵 真空泵
特點
大氣壓附近的排氣速度最大為80m3/h，與以往的真空泵相比，排氣時間可縮短約20%。
■標配的專用消音器能解決干式真空泵的噪音問題。極限壓力時的噪音值在61dB（A）以下，
這是一個在運轉過程中也不會打擾到您的噪音等級（*1)）
■C規格標配的ECO-SHOCK技術是一種省電的愛發科技術。
該技術可將極限壓力下的消耗電量降到0.6kW以下（*2)
■LS系列無需軸封氣體。以氮氣和空氣等的排氣為主的清潔工藝可降低運行成本
用途
LS系列有兩種規格。
首先是面向清潔工藝的規格。
為內置ECO-SHOCK的低功耗型，適于空氣排氣和N2排氣等清潔工藝用途。
具體來說，包括濺射、鍍膜、貼合/load lock室/TMP輔助等。
其次是面向輕工藝的規格。
具有表面處理和凈化功能，適于水蒸汽和揮發性藥液排氣等輕工藝用途。
具體來說諸如真空干燥、冷凍干燥、灰化和一般工業用途等。
規格
| 型號 | （C：C式樣） （L：L式樣） | LS120A | LS300A | LS600A | LS1200A | ||||
| C | L | C | L | C | L | C | L | ||
| 最大排氣速度 | m3/h | 120 | 380 | 600 | 1000 | ||||
| 到達壓力 | Pa | ≦0.6 | ≦0.1 | ||||||
| 電源電壓 | 200V級：3相、50/60Hz、AC200-240V 或 400V級：3相、50/60Hz、AC380-480V | ||||||||
| 消費電力 概略值 *1 | kW | 0.6 | 2.0 | 1.0 | 2.5 | 1.3 | 2.6 | 1.3 | 2.7 |
| 冷卻水量 | L/min | >2.0 | >4.0 | ||||||
| Purge gas 量 *2 | SLM | ‐ | 0～50 | ‐ | 0～50 | ‐ | 0～50 | ‐ | 0～50 |
| 最大水蒸氣 處理量 *3 | kg/h | ‐ | 1.5 | ‐ | 1.5 | ‐ | 1.5 | ‐ | 1.5 |
| 噪音值*1 | dB(A) | 61 | 61 | 62 | 64 | ||||
| 吸氣口 | KF50(水平)／ VG50(垂直) | ISO-F-50 | ISO-F-80 | ISO-F-100 | |||||
| 排氣口 | KF40 | KF40 | KF40 | KF40 | |||||
| 質量 | kg | 142 | 220 | 242 | 266 | ||||
| 適用規格 | CE、cTUVus | ||||||||
| 標準附屬品 | 電源用連接器、防水電纜夾、信號用連接器、電源連接保護器 | ||||||||
| 本體選配件 | 電源電壓：200V級或400V級、密封部材質：全氟彈性體(僅用于L型) | ||||||||
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