一、產品概述：

Nikon SF120/130 步進式光刻機是一款高精度的半導體制造設備，專為 200mm 晶圓的生產而設計。該機型采用先進的步進光刻技術，能夠實現(xiàn)高分辨率和高精度的圖案轉移，廣泛應用于集成電路（IC）、微處理器和存儲器等電子元件的制造。憑借其良好的成像質量和快速的曝光速度，NSR 2205i14E 非常適合大批量生產，同時其用戶友好的操作界面和高效的自動化功能提升了生產效率。這使得 Nikon NSR 2205i14E 成為現(xiàn)代半導體制造過程中的重要工具，滿足行業(yè)對高質量和高效率的需求。

二、設備用途/原理：

該設備利用高強度光源將掩模上的圖案逐步投影到涂有光刻膠的晶圓表面。光源發(fā)出特定波長的光線，通過高分辨率光學系統(tǒng)，將掩模圖案精確地投影到晶圓上進行曝光。曝光后，光刻膠的化學性質發(fā)生變化，接著進行顯影，去除未曝光或已曝光的光刻膠，形成所需的圖案。隨后，利用刻蝕工藝將圖案轉移到晶圓材料上，最后去除殘留的光刻膠。通過這一系列步驟，Nikon SF120/130 能夠高效地實現(xiàn)復雜圖形的精確轉移，滿足現(xiàn)代半導體制造的高標準要求。

三、主要技術指標：

四、設備特點

Nikon SF120/130步進式光刻機

光源波長365nm

分辨率優(yōu)于0.28µm

主要用于6寸、8寸及12寸生產線

廣泛應用于化合物半導體、MEMS、LED等