英國VacCoat手套箱用濺射鍍膜機熱蒸發器 DST2-TG 特點介紹

DST2-TG 是一款雙靶渦輪泵濺射鍍膜機，配有供手套箱使用的熱蒸發器，是一種多真空鍍膜機系統，

將熱蒸發器和濺射鍍膜機結合在一個緊湊的桌面系統中，并通過 Wi-Fi 連接進行遠程系統控制，可通過觸摸屏和PC控制。

高真空系統適用 于多種材料的沉積。雙磁控靶臺式濺射鍍膜機可以在 蒸發 和 濺射沉積之間輕松切換 ，以制備多層涂層。

英國VacCoat手套箱用濺射鍍膜機熱蒸發器 DST2-TG 規格參數

DST2-TG磁控臺式濺射鍍膜機是高精度半/全自動真空鍍膜系統，配備大室（直徑300毫米）和兩個2英寸直徑水冷陰極，適合長時間沉積。該系統是用于濺射、碳纖維和金屬蒸發的單一平臺。磁控臺式濺射鍍膜機可以濺射半導體、電介質和金屬靶材。濺射陰極和熱蒸發船可以安裝在一起或互換安裝，總共可以使用三個沉積源

雙級旋片前級泵

高真空內置渦輪泵90 l/s

全量程真空計

大室（直徑 300 毫米，高度 20-25 厘米）適合大型樣品沉積

電動升降臂可在真空室中上下移動

兩個 2” 水冷濺射陰極

兩個石英晶體傳感器（精度 1 納米），用于實時厚度測量

安裝在手套箱上的 KF40 饋通件，用于電源（直流、射頻和高電流 (HC)）、真空泵軟管、水冷卻和氬氣/反應氣體連接以及電氣連接

兩個精密質量流量計 (MFC)，用于精細控制真空和壓力

電子百葉窗

陰極選擇電機