Ecopia HMS-5000全自動(dòng)變溫霍爾效應(yīng)測(cè)試儀主要用于測(cè)量半導(dǎo)體材料的載流子濃度、遷移率、電阻率、霍爾系數(shù)、導(dǎo)電類型等重要參數(shù)，而這些參數(shù)是了解半導(dǎo)體材料電學(xué)特性必須預(yù)先掌控的，因此霍爾效應(yīng)測(cè)試儀是理解和研究半導(dǎo)體材料電學(xué)特性*的工具。

產(chǎn)品組成:
1、 主機(jī)系統(tǒng)
恒電流源+范德堡(Van der Pauw)方法終端轉(zhuǎn)換系統(tǒng)
2、 0.51特斯拉磁體包(型號(hào)：AMP51)
     - 0.51特斯拉永磁體
     - 磷銅樣品固定板
     - 樣品固定板嵌入式加熱器
     - 液氮槽
     - 溫度傳感器

樣品變溫、固定部分組成 -  圓形液氮槽 -  樣品固定板 -  溫度傳感器 -  嵌入式加熱器 -  磁體蓋 -  電纜	AMP磁體Kit俯視圖 - 磁體移動(dòng)馬達(dá)控制 - 圓形液氮槽 - 磁體蓋 - 電纜

3、 常溫測(cè)量彈簧夾具樣品板及常溫測(cè)量磁體蓋板 RTSK-5000 (選配)

4、 變溫霍爾效應(yīng)測(cè)量軟件

HMS-5000變溫霍爾效應(yīng)測(cè)量?jī)x軟件主界面

不同溫度I-V/I-R曲線       載流子濃度隨溫度變化曲線

遷移率隨溫度變化曲線       電阻率隨溫度變化曲線

霍爾系數(shù)隨溫度變化曲線       電導(dǎo)率隨溫度變化曲線

Ecopia HMS-5000全自動(dòng)變溫霍爾效應(yīng)測(cè)試儀規(guī)格：
1、 主要實(shí)驗(yàn)參數(shù)
輸入電流：1nA ~ 20mA；
電阻率：10exp(-5) ~ 10exp7Ω.cm；
載流子濃度：10exp7 ~ 10exp21 cm-3；
遷移率：1 ~ 10exp7 cm2/Volt.sec；
磁場(chǎng)強(qiáng)度：0.51T；
樣品測(cè)量板：彈簧樣品板；
樣品尺寸：5mmX5mm  ~ 20mmX20mm；
溫度范圍：80K-350K；
磁體包尺寸：700×220×280 mm (W×H×D) / 15.5Kg；
2、 軟件操作環(huán)境
XP / VISTA / Win7 / Win8 / Win10環(huán)境下
3、 實(shí)驗(yàn)結(jié)果
     - 體載流子濃度、表面載流子濃度；
     - 遷移率；
     - 霍爾系數(shù)；
     - 電阻率、方塊電阻；
     - 磁致電阻；
     - 電阻的縱橫比率；
4、 儀器尺寸和重量
主機(jī)尺寸：440×420×140 mm (W×H×D) / 8.5Kg；
5、 測(cè)量材料
Si, SiGe, SiC, GaAs, InGaAs, InP, GaN, TCO(including ITO), AlZnO, FeCdTe, ZnO等所有半導(dǎo)體薄膜(P型和N型)