化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>薄膜生長設(shè)備>其它薄膜沉積設(shè)備>ACU20FDH-LH 沉積設(shè)備用高溫分體氣體流量控制器及流量計(jì)
ACU20FDH-LH 沉積設(shè)備用高溫分體氣體流量控制器及流量計(jì)
- 公司名稱 北京精量科技有限公司
- 品牌 Accu
- 型號 ACU20FDH-LH
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2024/10/31 10:57:55
- 訪問次數(shù) 690
高溫分體質(zhì)量流量控制器高溫分體氣體流量控制器高溫分體熱式流量控制器高溫蒸汽流量控制器耐高溫質(zhì)量流量計(jì)
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| 氣體滿量程范圍 | 2SCCM~300SLM | 最大工作壓力 | 3MPa/10MPa |
|---|---|---|---|
| 是否帶顯示 | 帶顯示屏 |
一、產(chǎn)品概述： 沉積設(shè)備用高溫分體氣體流量控制器及流量計(jì)
u 可快速精確測量高溫氣體的體積流量/質(zhì)量流量
u 采用定制的高速比例控制閥對介質(zhì)體積流量/質(zhì)量流量進(jìn)行精確控制
u 超大可觸顯示屏，操作方便同時開放模擬輸入輸出和RS-485數(shù)字通訊
u 內(nèi)部無可移動組件和熱元件，通過抗振動測試，對安裝方向不敏感
u 采用內(nèi)部補(bǔ)償型層流壓差技術(shù)，使得大流量范圍下流體仍舊保持層流運(yùn)動
u 提供用戶支持，包括技術(shù)咨詢、快捷的設(shè)備校準(zhǔn)服務(wù)和有條件的終身質(zhì)保。
二、產(chǎn)品應(yīng)用：
-- 已廣泛應(yīng)用于沉積工藝領(lǐng)域，如陶瓷工藝、半導(dǎo)體、光纖等行業(yè)使用高溫氣體的沉積設(shè)備。
-- 多變量測量以及50:1量程可調(diào)比，使得僅用一臺熱式高溫分體氣體質(zhì)量流量控制器及流量計(jì)便可取代多臺設(shè)備的功效。
-- 精度0.5%FS、重復(fù)性0.5%及不到200毫秒的控制響應(yīng)時間，確保高溫的過程氣體可以流暢的工作。
三、技術(shù)參數(shù)：沉積設(shè)備用高溫分體氣體流量控制器及流量計(jì)
技 術(shù) 指 標(biāo) | 質(zhì)量流量控制器 | 質(zhì)量流量計(jì) | |
量程范圍 | 2SCCM~300SLM | ||
精度 (調(diào)零后標(biāo)準(zhǔn)條件下) | ±0.5%F·S（滿量程） | ||
重復(fù)精度 | ±0.5%F·S | ||
流量控制比 /測量范圍 | 2%~100%F·S/50：1 | 1%~100%F·S/100：1 | |
工作溫度 | 過流部分：（90~150℃），控制部分：0~70℃ | ||
漏率 | ＜2×10-9 Pa m3/S | ||
機(jī) 械 部 件 | 最大工作壓力 | 3 MPa / 10MPa | |
密封材質(zhì) | 氟橡膠、全氟醚、金屬密封 | ||
防護(hù)等級 | IP40 | ||
底座材質(zhì) | 不銹鋼 | ||
氣路接頭 | φ6，φ8，φ10，φ12，卡套、VCR等 | ||
電 氣 性 能 | 單色LCD顯示屏 | 同時顯示實(shí)時流量、設(shè)定流量 | |
數(shù)字通訊 | 可選：RS232/485，Modbus協(xié)議、Profibus協(xié)議、DeviceNet協(xié)議 | ||
模擬輸入輸出信號 | 0~5VDC/4~20mA | ||
電信號接口 | B9孔, RJ11, 5.5×2.1電源快插 | ||
供電電壓 | ±15VDC，24VDC | ||
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