M+100CD 全自動勻膠顯影機
| 參考價 | ￥1000000.00 |
具體成交價以合同協議為準
- 公司名稱 西安愛姆加半導體有限公司
- 品牌其他品牌
- 型號M+100CD
- 所在地西安市
- 廠商性質生產廠家
- 更新時間2024/3/8 13:53:27
- 訪問次數 264
規格
| 2-8 | 1000000.00元 | 20 件可售 |
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一、使用領域:IC半導體、LED、Bumping、化合物、光通訊、OLED、MEMS等 Wafer Size 晶圓尺寸：Φ2"-8"
Spin motor主軸轉速：0-8000rpm±1rpm
Uniformation膜厚均勻性：＜1％(參考AZ1500）
Temperation溫度均勻性：0-250℃±0.5℃
MTBF：≥1500小時Uptime：95％
二、涂膠單元 Coater Uint：膠盤：Teflon，Delrin
可編程移動式滴膠
可配3路噴嘴
正/背面去邊清洗
主軸電機：伺服電機（高速：8000rpm）
勻膠溫度控制（選配）
噴嘴預清洗（選配）
環境溫濕度控制（選配）
三、顯影單元 Developer：
膠盤:Delrin
4路噴液（2 spray，1 streaam, 1 Dl water）
主軸電機：伺服電機（高速：8000rpm）
背面清洗
滴液方式：膠泵或壓力罐
液體溫度控制（選配）
排風控制
體積尺寸：1400mm（W）×1400mm（D）×1700mm(H)一、使用領域:IC半導體、LED、Bumping、化合物、光通訊、OLED、MEMS等 Wafer Size 晶圓尺寸：Φ2"-8"
Spin motor主軸轉速：0-8000rpm±1rpm
Uniformation膜厚均勻性：＜1％(參考AZ1500）
Temperation溫度均勻性：0-250℃±0.5℃
MTBF：≥1500小時Uptime：95％二、涂膠單元 Coater Uint：膠盤：Teflon，Delrin可編程移動式滴膠
可配3路噴嘴
正/背面去邊清洗
主軸電機：伺服電機（高速：8000rpm）
勻膠溫度控制（選配）
噴嘴預清洗（選配）
環境溫濕度控制（選配）三、顯影單元 Developer：膠盤:Delrin
4路噴液（2 spray，1 streaam, 1 Dl water）
主軸電機：伺服電機（高速：8000rpm）
背面清洗
滴液方式：膠泵或壓力罐
液體溫度控制（選配）
排風控制
體積尺寸：1400mm（W）×1400mm（D）×1700mm(H)
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