SIMCO思美高 離子風棒

SIMCO思美高 離子風棒

Simco-Ion Aerobar 5635 MP 離子棒能提供快速靜電消散，低殘余電壓擺幅，和精準的離子平衡，是設計用于有嚴格要求的超高潔凈半導體或有同類的制程環境。它采用 MP 技術 - 把高頻正旋周波和調制脈沖結合 - 產生高輸出量的離子和把它們推送至目標表面，這突破的技術使 5635MP 離子棒能安裝在晶圓的 15 cm 距離內。同時配合超高潔凈的靜電針和精確的參數調整，使它達到超越 ISO Class 1 潔凈水平的

“Extended ISO Class 1”潔凈度，適合更微小的*技術制程。選配的吹氣輔助功能，在潔凈要求不高的環境，能加快離子的推送，得到更快的消散時間和有更遠的工作距離。

Aerobar 5635 MP 離子棒的 MP 技術能容易設置和微調參數 - 輸出電壓，脈沖頻率，正負平衡，以符合不同環境和產品對靜電的敏感要求。在棒長短于 60 cm 時，靜電針的間距是 5 cm，這樣能給出更濃密和更平均的離子覆蓋。

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