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NS200 臺階儀測量薄膜厚度儀器

參考價 600000
訂貨量 ≥1
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱 深圳市中圖儀器股份有限公司
  • 品牌 CHOTEST/中圖儀器
  • 型號 NS200
  • 產地 學苑大道1001號南山智園B1棟2樓、5樓
  • 廠商性質 生產廠家
  • 更新時間 2024/7/18 10:41:01
  • 訪問次數 584

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深圳市中圖儀器股份有限公司成立于2005年,致力于全尺寸鏈精密測量儀器及設備的研發、生產和銷售。


中圖儀器堅持以技術創新為發展基礎,擁有一支集光、機、電、信息技術于一體的技術團隊,歷經20年的技術積累和發展實踐,研發出了基礎計量儀器、常規尺寸光學測量儀器、微觀尺寸光學測量儀器、大尺寸光學測量儀器、常規尺寸接觸式測量儀器、微觀尺寸接觸式測量儀器、行業應用檢測設備等全尺寸鏈精密儀器及設備,能為客戶提供從納米到百米的精密測量解決方案。





三坐標測量機,影像儀,閃測儀,一鍵式測量儀,激光干涉儀,白光干涉儀,光學輪廓儀,激光跟蹤儀

產地類別 國產 價格區間 面議
應用領域 化工,能源,電子,電氣,綜合

NS系列臺階儀測量薄膜厚度儀器是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀,可以對微米和納米結構進行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量。其采用LVDC電容傳感器,具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點使得其在ITO導電薄膜厚度的測量上具有很強的優勢。

臺階儀測量薄膜厚度儀器

工作原理

當觸針沿被測表面輕輕滑過時,由于表面有微小的峰谷使觸針在滑行的同時還沿峰谷作上下運動。觸針的運動情況就反映了表面輪廓的情況。針對測量ITO導電薄膜的應用場景,NS200臺階儀提供如下便捷功能:

1)結合了360°旋轉臺的全電動載物臺,能夠快速定位到測量標志位;

2)對于批量樣件,提供自定義多區域測量功能,實現一鍵多點位測量;

3)提供SPC統計分析功能,直觀分析測量數值變化趨勢;


NS系列臺階儀測量薄膜厚度儀器對測量工件的表面反光特性、材料種類、材料硬度都沒有特別要求,樣品適應面廣,數據復現性高、測量穩定、便捷、高效,是微觀表面測量中使用非常廣泛的微納樣品測量手段。


典型應用

臺階儀測量薄膜厚度儀器

產品特性

1.出色的重復性和再現性,滿足被測件測量精度要求

線性可變差動電容傳感器(LVDC),具有亞埃級分辨率,13um量程下可達0.01埃。高信噪比和低線性誤差,使得產品能夠掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征。

2.超微力恒力傳感器:(1-50)mg可調

測力恒定可調,以適應硬質或軟質材料表面。超低慣量設計和微小電磁力控制,實現無接觸損傷的精準接觸式測量。

3.超平掃描平臺

系統配有超高直線度導軌,杜絕運動中的細微抖動,提高掃描精度,真實反映工件微小形貌。

4.頂視光學導航系統,5MP超高分辨率彩色相機

5.全自動XY載物臺, Z軸自動升降、360°全自動θ轉臺

6.強大的數據采集和分析系統

臺階儀軟件包含多個模塊,為對不同被測件的高度測量及分析評價提供充分支持。

臺階儀測量薄膜厚度儀器


部分技術參數

型號NS200
測量技術探針式表面輪廓測量技術
探針傳感器超低慣量,LVDC傳感器
平臺移動范圍X/Y電動X/Y(150mm*150mm)(可手動校平)
樣品R-θ載物臺電動,360°連續旋轉
單次掃描長度55mm
樣品厚度
50mm
載物臺晶圓尺寸150mm(6吋),200mm(8吋)
尺寸(L×W×H)mm640*626*534
重量40kg
儀器電源100-240 VAC,50/60 Hz,200W

使用環境

相對濕度:濕度 (無凝結)30-40% RH

溫度:16-25℃ (每小時溫度變化小于2℃)

地面振動:6.35μm/s(1-100Hz)

音頻噪音:≤80dB

空氣層流:≤0.508 m/s(向下流動)

懇請注意:因市場發展和產品開發的需要,本產品資料中有關內容可能會根據實際情況隨時更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請諒解。

如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯系中圖儀器咨詢。



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