一、特點：

藥液物也可以均勻地涂布在傾斜等不平表面上的槽基板。

支持苯并環丁烯（BCB），各種聚合物等（需要稀釋液）。

對應于各種大小、形狀，還可以通過交換在樣品臺上的樣品。

比傳統的噴涂裝置的成本低，易于操作。

工作臺面為了便于清洗的可拆卸頂板。

二、產品規格：固定式和移動式噴涂機噴涂的樣本格式

手動上下取片

PLC控制半自動操作控制

噴霧干燥的空氣和噴霧化學泵送系統

工作臺平面可旋轉

噴霧噴嘴高度范圍為80?150毫米（從樣品臺表面）

范圍約400毫米的直線運動（全行程的直線運動）

清潔干燥的空氣：5KG / C㎡（φ6mm氣動管連接口）

電源：AC220V 1800W

排風：φ100mm圓片分鐘連接管道直徑為100升/排氣

重量： 150kg以下重量

外形尺寸：1300×800×800毫米的機身（H×W×D）

三、芯片潔凈室的溫度與濕度

潔凈空間的溫度和濕度(RH)主要根據工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的情況下，還要考慮舒適感。隨著空氣潔凈度要求的提高，對溫度和濕度的要求有越來越嚴格的趨勢。溫濕度對勻膠顯影機有哪些影響？溫濕度可造成的危害：

由于加工精度越來越精細，所以溫度波動范圍越來越小。例如，在大規模集成電路生產的光刻曝光工藝中，要求作為掩模材料的玻璃和硅片的熱膨脹系數差異越來越小。直徑100um的硅片，溫度升高1度，會引起0.24um的線膨脹，所以必須有±0.1度的溫差，同時濕度值一般較低，因為人出汗了，產品會有污染，特別怕鈉的半導體車間，這個車間溫度不要超過25度。

半導體在溫度系數和電阻之間具有反比關系。加熱時，半導體電導增加，電阻降低。最外層的電子與材料化合物的原子核分離。隨著自由電子的增加，電阻相應下降。在制造半導體時，將溫度保持在一定范圍內至關重要，這樣成品芯片才能在其應用中正常運行。高濕度會導致更多問題。當相對濕度超過55%時，冷卻水管壁會結露，在精密器件或電路中會引起各種事故。當相對濕度為50%時，很容易生銹。

另外，當濕度過大時，附著在硅片表面的灰塵會被化學吸附在表面而難以去除。相對濕度越高，附著物越難去除，但當相對濕度低于30%時，由于靜電力的作用，顆粒很容易吸附在表面，大量的半導體器件容易發生故障。

總結起來即:靜電荷的積累;細菌生長;水分凝結;金屬腐蝕;光刻問題。此外，濕度可能是潔凈室工作人員出汗的原因。如果潔凈室的環境太干燥，供應包裝或標簽上的殘留顆粒可能會粘在手套(或其他表面)上。低于30%的濕度會給員工帶來麻煩，可能會導致呼吸不適和皮膚破裂。

溫濕度的標準:將相對濕度控制并保持在40%至60%之間溫度控制在22C-23C之間如何監控并調節潔凈室的溫濕度

芯片潔凈室的溫濕度通常由專門的環境監控系統進行實時測量和調整。這些系統通常包括溫濕度傳感器、數據記錄器和環境控制設備。溫濕度傳感器:這些傳感器被放置在潔凈室的關鍵位置，可以實時測量環境的溫度和濕度。這些傳感器通常使用電阻或電容的變化來測量溫濕度。例如，某些類型的溫度傳感器使用材料的電阻隨溫度變化的特性來測量溫度，而濕度傳感器使用材料的電容隨濕度變化的特性來測量濕度。#勻膠顯影設備#全自動勻膠顯影機#勻膠機、顯影機、半導體噴膠機#愛姆加電子設備

四、芯片無塵室的超凈服介紹

在勻膠顯影設備凈化間，工作人員通常需要穿著超凈服以確保產品的質量和純度，保證實驗數據的精確。這種服裝的設計主要是為了防止工作人員的身體表面或呼出的空氣對微型電子元件的制造環境產生污染。超凈服通常被稱為Cleanroom Suit"或者"Bunny Suit"，做半導體制造的小伙伴應該對超凈服比較熟悉，但是你確定自己懂它嗎?

超凈服的歷史——超凈服，是由英特爾Fab工廠提出，其歷史可以追溯到1968年。當時的芯片無塵室內工作人員穿著自己的衣物，并且環境并非無菌的。甚至有人會把比薩餅放在擴散爐上烘烤加熱。到了1971年，Intel的Fab 2工廠要求員工穿著專用罩衣，但不需要頭套或護腿。員工可以把它們帶回家洗，這種做法在常規清潔度上可能足夠，但卻無法防止小顆粒污染微芯片。更嚴格的清潔服裝協議始于1973年，Intel的Fab3工廠普及了我們目前熟悉的現代超凈服，并在1980年成為Intel公司的標準，隨后流行開來。

超凈服的材質——常見材質為聚酯。超凈服所用的聚酯材料是一種常見的聚合物，主要由聚酯纖維制成。聚酯是一種大分子聚合物，由酯基連接的單體重復單元組成。酯基是一個化學功能團，由一個羰基(C=O)和一個氧原子(-0-)組成，形式為 -C00-。聚酯是聚對苯二甲酸乙二醇酯(PET)。

以下是聚酯材料的一些主要特性:

1.耐磨:聚酯是一種非常耐磨的材料，其強度比自然纖維高。

2.耐化學品:聚酯對大多數常見的工業化學品具有很好的抵抗力，包括酸，堿和有機溶劑。這使得它在需要接觸化學品的環境中非常有用。

3.易洗:聚酯纖維的另一個優點是它易于清洗，可以在機器中洗滌，且不易皺。此外，它可以在高溫下清洗，這對于保持超凈服的潔凈至關重要。

4.防靜電:聚酯本身可能會產生靜電，但是超凈服的聚酯材料通常會摻入防靜電纖維或者涂覆有防靜電劑，以降低靜電積累。超凈服的靜電如何導走的?

超凈服防止靜電積聚的一種重要方式是通過地面接地系統，將人體產生的靜電導入大地。在勻膠顯影設備生產車間，員工通常需要穿戴特別的防靜電鞋或鞋套。這些鞋子或鞋套是由導電材料制成的，可以將人體產生的靜電從人體導入到地面。#凈化間的勻膠顯影設備#半自動勻膠機#勻膠顯影工藝#愛姆加半導體設備

勻膠機又稱甩膠機、勻膠臺、旋轉涂膠機、旋轉涂膜機、旋轉涂層機、旋轉涂布機、旋轉薄膜機、旋轉涂覆儀、旋轉涂膜儀、勻膜機,

勻膠工作原理：總的來說,他們原理都是一樣的,即在高速旋轉的基片上,滴注各類膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上,厚度視不

同膠液和基片間的粘滯系數而不同,也和旋轉速度及時間有關。