Agilent安捷倫CombiNEG 150-1000 和 150-2000 吸氣劑復合型離子泵在 150 L/s VacIon 泵中集成了大容量 D1000 或 D2000 非蒸散型吸氣劑泵芯。三極離子泵或二極離子泵可為氬氣和其他殘留惰性氣體提供較高抽速，而吸氣劑泵可為可吸收氣體提供較高抽速，因此具有同時處理大量惰性氣體、氫氣和其他可吸收氣體的優勢。內部防護罩可延長 NEG 的使用壽命。

通用而緊湊的CombiNEG 150吸氣劑復合型離子泵適合要求較高的應用，此類應用中需要在超高等真空狀態下達到超高抽速。

產品參數

產品特點

·三極離子泵抽氣單元可快速抽除惰性氣體，而吸氣劑泵可快速抽除活性氣體，二者結合可達到較高的組合抽速，縮短達到超高真空等真空狀態所需的時間。

·燒結吸氣劑泵的設計緊湊，可提供比質量較差的壓結末吸氣劑泵更好的解決方案，并消除粉末進入系統的風險。

·配備 ConFlat 4.5 英寸非旋轉型法蘭以及用于吸氣劑泵的額外 ConFlat 2.75 英寸法蘭。

·可以選擇不同方向的真空穿導件，實現靈活性。

·無活動部件，確保在高靈敏度應用中無振動運行。

·低漏電流可提供穩定的真空壓力讀數。

·低磁場可減少系統干擾。

·在 > 400 °C 的條件下進行真空處理，并在真空下夾止，確保安裝前的清潔度和真空密封性。

產品尺寸

產品選型