緊湊式 — 模塊化
兩種型號
CCU-010 鍍膜機提供兩種款型。CCU- 010 LV低真空鍍膜機,CCU- 010 HV 高真空鍍膜機。采用模塊化概念,便于以后把低真空鍍膜機轉(zhuǎn)變?yōu)楦哒婵斟兡C。
智能設(shè)備
不論您想要進行濺射金屬、碳蒸發(fā)還是等離子處理,您需更換工作頭,就能完成各種應(yīng)用。
沒有不必要的停工期
設(shè)備基本上即開即用。通過把高質(zhì)量的材料和部件與思路相結(jié)合,縮短了工藝時間。采用自動模式,實現(xiàn)了穩(wěn)定、均勻的薄層鍍膜。
緊湊實用
尺寸小巧,節(jié)省了寶貴的空間。重量已經(jīng)減至低。由于鍍膜機統(tǒng)一使用標準化的真空接口,還能與第三方設(shè)備配套使用。
啟用簡單,服務(wù)方便
拆開包裝,連接線路,直接啟用!省去了高昂的啟用成本。設(shè)備采用即插即用概念,您自己就能啟用。您需接通電源和工藝氣體即可。
憑借一體式USB服務(wù)接口,服務(wù)技工可以在現(xiàn)場或者通過互聯(lián)網(wǎng)遠程進行快速錯誤分析。采用模塊化配置,可以有指向性地更換有缺陷的部件。
亮點和特性:
· 一臺設(shè)備完成濺射、碳蒸發(fā)和等離子處理(親水/疏水)等多項工作。
· 使用直徑54毫米、厚度多3毫米的靶材,可以快速、方便地更換。
· 長壽命靶材
· 采用磁控濺射工作頭,實現(xiàn)了細顆粒濺射,適用于高分辨率FESEM應(yīng)用領(lǐng)域。
· 可以進行氧化銦錫(ITO)濺射和碳濺射。
· 玻璃工作腔Φ120毫米(DIN 100 ISO-KF兼容),帶內(nèi)爆防護和監(jiān)控。
· 自動靶材擋板
· 以電子方式調(diào)節(jié)工作真空度,帶皮拉尼(Pirani)和冷陰真空測量系統(tǒng)
· 自動閥門控制,用于控制兩種工作氣體和排氣
· 靶材冷卻,帶溫度監(jiān)測
· 高度可調(diào)、可傾斜的圓形樣品臺(Φ80毫米)。樣品臺不需使用工具即可取下,便于清洗(噴砂處理)。
· 速度受控的旋轉(zhuǎn)式或旋轉(zhuǎn)行星式樣品臺,有多種樣品支托選配件
· 采用雙石英測量系統(tǒng)進行膜層厚度測量(小樣品在中xin測量,大樣品在邊緣測量)
· 整體式MD 1 Vario-SP隔膜泵(HV款型)
· 整體式Hi Pace 80渦輪泵(HV款型)
· 寬范圍電源(90VAC - 260VAC))
· 5.7英寸TFT觸摸式圖形顯示屏
· 直觀易懂的用戶軟件,具備很多有用的功能
· 便于創(chuàng)建鍍膜工序,結(jié)果的再現(xiàn)性
· 可以存儲/查看近十次操作
· 采用基于Windows的軟件Coating LAB(鍍膜實驗室)對工藝數(shù)據(jù)進行圖形化展示。
· 具備在斷電情況下自動排氣的功能。此功能可以防止系統(tǒng)受到前級泵油(LV款型)的污染。
· USB接口,便于進行工藝分析和軟件更新
· 統(tǒng)一接口,用于連接不同的工作頭
· 工作頭自動識別
· 6毫米樂克利(Legris)接口,用于連接兩種工作氣體和排氣
· 法蘭接口(DN 25 ISO-KF),用于連接外部前級泵(LV款型)
· 可以用作單純的泵送裝置
· 尺寸小,重量輕
· 瑞士品質(zhì)