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EVG720 自動化SmartNIL紫外納米壓印光刻系統(tǒng)

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
產(chǎn)品標(biāo)簽

EVG720納米壓印光刻

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岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司(Dymek Company Ltd ,下面簡稱岱美)成立于1989年,是一間擁有多年經(jīng)驗的高科技設(shè)備分銷商,主要為數(shù)據(jù)存儲、半導(dǎo)體、光通訊、高校及研發(fā)中心提供各類測量設(shè)備、工序設(shè)備以及相應(yīng)的技術(shù)支持,并與一些重要的客戶建立了長期合作的關(guān)系。自1989年創(chuàng)立至今,岱美的產(chǎn)品以及各類服務(wù)、解決方案廣泛地運用于中國香港,中國大陸(上海、東莞、北京),中國臺灣,泰國,菲律賓,馬來西亞,越南及新加坡等地區(qū)。


岱美在中國大陸地區(qū)主要銷售或提供技術(shù)支持的產(chǎn)品:

晶圓鍵合機、納米壓印設(shè)備、紫外光刻機、涂膠顯影機、硅片清洗機、超薄晶圓處理設(shè)備、光學(xué)三維輪廓儀、硅穿孔TSV量測、非接觸式光學(xué)三坐標(biāo)測量儀、薄膜厚度檢測儀、主動及被動式防震臺系統(tǒng)、應(yīng)力檢測儀、電容式位移傳感器、定心儀等。


岱美重要合作伙伴包括有:

Thetametrisis, EVG, FSM, Opto-Alignment, Herz, PLSINTEC, Film Sense, Reditech, Lazin, Delcom, Microsense, Shb, boffotto, RTEC, Kosaka, Nanotronics, MTInc, 4D, Daeil, Microphysics,

n&k Technology, First Nano, Schmitt, LESCO, Otsuka, STI, Kurashiki, Ryokosha, SURAGUS, Westbond...


如有需要,請聯(lián)系我們,了解我們?nèi)绾伍_始與您之間的合作,實現(xiàn)您的企業(yè)或者組織機構(gòu)長期發(fā)展的目標(biāo)。




膜厚儀,輪廓儀,EVG鍵合機,EVG光刻機,HERZ隔震臺,Microsense電容式位移傳感器

EVG720 系統(tǒng)利用 EVG 創(chuàng)新的 SmartNIL 技術(shù)和材料專業(yè)知識,實現(xiàn)微米級和納米級結(jié)構(gòu)的大規(guī)模制造。EVG720 系統(tǒng)采用 SmartNIL 技術(shù),能夠在大面積上打印小至 40 nm* 的納米結(jié)構(gòu),具有較大的吞吐量和較低的擁有成本,非常適合下一代微流控和光子器件(如衍射光學(xué)元件 (DOE))的批量生產(chǎn)。

*分辨率取決于工藝和模板


特點


· 具有復(fù)制保真度的批量驗證印記技術(shù)

· 成熟的SmartNIL技術(shù)與多用途聚合物沖壓技術(shù)®

· 集成壓印,UV固化脫模,和工作印章制作

· 自動磁帶到磁帶處理加上半自動化的研發(fā)模式

· 可選的頂部對齊

· 可選的迷你環(huán)境

· 開放平臺的所有商業(yè)可用的印記材料

· 從研發(fā)到生產(chǎn)的可擴展性

· 系統(tǒng)外殼,最佳的過程穩(wěn)定性和可靠性

product-720.jpg

技術(shù)數(shù)據(jù)

晶圓直徑(襯底尺寸):75至150毫米

分辨率:≤ 40 nm(分辨率取決于模板和工藝)

過程支持:SmartNIL®

曝光源:大功率LED(i-線)> 40mW/cm2

對齊:可選頂部對中

自動分離:支持

迷你環(huán)境和氣候控制:可選

工作印章制作:支持




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