技術(shù)數(shù)據(jù)

2.6 升的 Low Cost 等離子體實(shí)驗(yàn)室設(shè)備 ZEPTO 配有手動型 和 Basic PC 控制系統(tǒng)，主要用于以下領(lǐng)域:

小批量生產(chǎn), 分析 (REM, TEM), 醫(yī)療技術(shù), 滅菌, 研究和開發(fā)部門, 考古, 紡織技術(shù), 塑料技術(shù)

1.基本裝備：

   根據(jù)組件/選裝件，外殼規(guī)格會有所不同

   腔室容積：根據(jù)具體版本 1.7 - 2.6 升

供電電源：230 V

2.氣體供給：針型閥、質(zhì)量流量控制器 (MFC)

3.真空腔室

   帶蓋圓形硼硅玻璃 (UHP)（大約 ∅ 105 mm，長 200 mm 或長 300 mm）

W6（約 ∅ 160 mm，長 180mm）

4.裝載件

產(chǎn)品支架：鋁板、不銹鋼板、硼硅玻璃

5.電極：

單層或多層

真空腔室外部的一對電極

6.控制系統(tǒng)：手動、Basic PC 控制系統(tǒng) (Microsoft Windows CE)

7.壓力測量：Pirani

8.計時器：數(shù)字 、模擬

9.發(fā)生器：

頻率：

40 kHz：功率 0 - 100 W

13.56 MHz：功率 0 - 200 W