原子力顯微鏡(AFM）Dimension Icon技術(shù)參數(shù)：

X-Y方向掃描范圍：90um *90um典型值，最小85um
Z方向掃描范圍：10um典型值，在成像及力曲線模式下；最小9.5um
垂直方向噪音基底：<30pmRMS, 在合適的環(huán)境及典型的成像帶寬（達到625Hz）
X-Y定位噪音（閉環(huán)）：<0.15nm RMS，典型成像帶寬（達到625Hz）
X-Y定位噪音（閉環(huán)）：<0.10nm RMS，典型成像帶寬（達到625Hz）
Z傳感器噪音水平（閉環(huán)）：<35pm RMS, 典型成像帶寬（達到625Hz）
整體線性誤差（X-Y-Z）：0.5% 典型值

樣品尺寸/夾具：210mm真空吸盤樣品臺，直徑210mm, 厚度15mm
電動定位樣品臺（X-Y軸）：180mm*180mm可視區(qū)域；單向2um重復性；雙向3um重復性。
顯微鏡光學系統(tǒng)：五百萬像素數(shù)字照相機
                                180um至1465um可視范圍
                                數(shù)字縮放及自動對焦功能

控制器：NanoScope V型控制器
工作臺：整合所有控制器、結(jié)合人體工學設(shè)計，提供直接的物理或可視借口
震動隔絕：整體式氣動減震臺
聲音隔絕：可隔絕環(huán)境中85 dBC的持續(xù)噪音

原子力顯微鏡(AFM）Dimension Icon

主要特點：

結(jié)合Veeco新的行業(yè)的針尖-掃描AFM技術(shù)，Icon的溫度補償定位傳感器使Z軸的的噪音水平達到亞-埃米級，X-Y方向達埃米級。在大樣品臺、90微米掃描范圍系統(tǒng)的儀器當中，這種表現(xiàn)是非常突出的，優(yōu)于絕大部分的開環(huán)、高分辨率AFM系統(tǒng)的噪音水平。