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光譜橢偏儀SE-2000 多功能薄膜測試系統,適合各種薄膜材料的研究

具體成交價以合同協議為準

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光學輪廓儀、共焦位移傳感器、原子力顯微鏡、光譜式橢偏儀


測試速度:<1 sec (快速測試模式)

<120 sec (高分辨率測試模式)

測量光譜分辨率:<0.5nm@633nm (高分辨率測試模式)

<0.8nm@633nm (快速測試模式)

光譜范圍:193nm-2500nm,UV-VIS-NIR不同波長范圍可選

樣品尺寸:標準200mm直徑,可選 300mm

厚度測量范圍:0.01nm-50um

厚度測試精度:0.02nm @120nm SiO2 on Si

折射率測試精度:0.002 @120nm SiO2 on Si



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