ILS 中行程鋁直流電機線性平移臺產品規格

型號
	ILS50CC	ILS100CC	ILS150CC	ILS200CC	ILS250CC
行程范圍	50 mm	100 mm	150 mm	200 mm	250 mm
最大速度 1	100 mm/s	100 mm/s	100 mm/s	100 mm/s	100 mm/s
最小位移增量	1000 nm	1000 nm	1000 nm	1000 nm	1000 nm
中心負載能力	250 N	250 N	250 N	250 N	250 N
軸向負載 (+Cx)	40 N	40 N	40 N	40 N	40 N
逆軸向負載能力 (-Cx)	-40 N	-40 N	-40 N	-40 N	-40 N
精度，典型值	±0.6 µm	±0.8 µm	±1.5 µm	±1.2 µm	±1.7 µm
精度，保證值	±1.5 µm	±2.0 µm	±2.5 µm	±3.7 µm	±5.0 µm
單向重復精度，典型值	±0.20 µm	±0.25 µm	±0.25 µm	±0.35 µm	±0.35 µm
單向重復精度，保證值	±0.50 µm	±0.50 µm	±0.50 µm	±0.5 µm	±0.5 µm
雙向重復精度，典型值	±0.40 µm	±0.40 µm	±0.45 µm	±0.45 µm	±0.60 µm
雙向重復精度，保證值	±1.0 µm	±1.0 µm	±1.0 µm	±1.0 µm	±1.0 µm
俯仰，典型值	±15 µrad	±20 µrad	±37 µrad	±37 µrad	±42 µrad
俯仰，保證值	±25 µrad	±50 µrad	±75 µrad	±100 µrad	±125 µrad
俯仰順應性	10 µrad/Nm	10 µrad/Nm	10 µrad/Nm	10 µrad/Nm	10 µrad/Nm
偏擺，典型值	±12 µrad	±17 µrad	±20 µrad	±25 µrad	±25 µrad
偏擺，保證值	±25 µrad	±37 µrad	±65 µrad	±80 µrad	±95 µrad
偏擺順應性	10 µrad/Nm	10 µrad/Nm	10 µrad/Nm	10 µrad/Nm	10 µrad/Nm
滾轉順應性	15 µrad/Nm	15 µrad/Nm	15 µrad/Nm	15 µrad/Nm	15 µrad/Nm
原點重復精度	±0.5 µm	±0.5 µm	±0.5 µm	±0.5 µm	±0.5 µm
電纜長度	3 m	3 m	3 m	3 m	3 m
螺紋類型 2	2001-4-20	2001-4-20	2001-4-20	2001-4-20	2001-4-20
重量	4.2 kg	4.5 kg	4.8 kg	5.1 kg	5.4 kg
MTBF	20,000 h (25% load, 30% duty cycle)	20,000 h (25% load, 30% duty cycle)	20,000 h (25% load, 30% duty cycle)	20,000 h (25% load, 30% duty cycle)	20,000 h (25% load, 30% duty cycle)
RoHS

注釋:

ILS-CCL版本可供選擇。

1. 對于 ILS-CCL 版本，最大速度降低到 50 毫米/秒。

2. 公制 M- 版本可供選擇。

型號
	ILS50HA	ILS100HA	ILS150HA	ILS200HA	ILS250HA
行程范圍	50 mm	100 mm	150 mm	200 mm	250 mm
最大速度	100 mm/s	100 mm/s	100 mm/s	100 mm/s	100 mm/s
最小位移增量	300 nm	300 nm	300 nm	300 nm	300 nm
中心負載能力	250 N	250 N	250 N	250 N	250 N
軸向負載 (+Cx)	40 N	40 N	40 N	40 N	40 N
逆軸向負載能力 (-Cx)	-40 N	-40 N	-40 N	-40 N	-40 N
精度，典型值	±0.3 µm	±0.6 µm	±1.2 µm	±0.8 µm	±1.5 µm
精度，保證值	±1.25 µm	±1.5 µm	±2.0 µm	±3.0 µm	±3.75 µm
單向重復精度，保證值	±0.20 µm	±0.20 µm	±0.20 µm	±0.20 µm	±0.20 µm
單向重復精度，典型值	±0.08 µm	±0.08 µm	±0.08 µm	±0.08 µm	±0.10 µm
雙向重復精度，典型值	±0.10 µm	±0.10 µm	±0.15 µm	±0.15 µm	±0.15 µm
雙向重復精度，保證值	±0.35 µm	±0.35 µm	±0.35 µm	±0.35 µm	±0.35 µm
俯仰，典型值	±17 µrad	±25 µrad	±50 µrad	±35 µrad	±45 µrad
俯仰，保證值	±25 µrad	±50 µrad	±75 µrad	±100 µrad	±125 µrad
俯仰順應性	10 µrad/Nm	10 µrad/Nm	10 µrad/Nm	10 µrad/Nm	10 µrad/Nm
偏擺，典型值	±7 µrad	±17 µrad	±25 µrad	±25 µrad	±30 µrad
偏擺，保證值	±25 µrad	±37 µrad	±65 µrad	±80 µrad	±95 µrad
偏擺順應性	10 µrad/Nm	10 µrad/Nm	10 µrad/Nm	10 µrad/Nm	10 µrad/Nm
滾轉順應性	15 µrad/Nm	15 µrad/Nm	15 µrad/Nm	15 µrad/Nm	15 µrad/Nm
原點重復精度	±0.1 µm	±0.1 µm	±0.1 µm	±0.1 µm	±0.1 µm
電纜長度	3 m	3 m	3 m	3 m	3 m
螺紋類型 1	2001-4-20	2001-4-20	2001-4-20	2001-4-20	2001-4-20
重量	4.2 kg	4.5 kg	4.8 kg	5.1 kg	5.4 kg
MTBF	20,000 h (25% load, 30% duty cycle)	20,000 h (25% load, 30% duty cycle)	20,000 h (25% load, 30% duty cycle)	20,000 h (25% load, 30% duty cycle)	20,000 h (25% load, 30% duty cycle)
RoHS

注釋:

1. 公制 M- 版本可供選擇。

ILS 中行程鋁直流電機線性平移臺特征

高速高重復度直流電機

直流電機的最大特點是速度快，運動平穩，效率高，功率/重量比高。 因此，對于要求高動態速度和嚴格可重復性的應用，它們比步進電機平臺更可取。 ILS-CC和ILS-HA平臺與Newport的 XPS 和ESP301 運動控制器。 ILS-CCL級僅與Newport的 SMC100CC 運動控制器兼容，其最大速度為 ILS-CC的一半。

ILS Stage Motor Options

ILS Series stages are available with the following motors:

●Stepper Motor (ILS-BPP) - For less demanding applications, a stepper motor can be a more economical solution than a DC motor.

●High-torque DC motor (ILS-CC) - Best characterized by their high speeds, smooth motion, good efficiency and a high power/weight ratio, DC motors are preferable to stepper motor stages for applications requiring high dynamic speed and tight repeatability.

●Linear Motor (ILS-LM) - The ILS-LM employs a centered, high efficiency 3-phase, synchronous ironless, linear motor. This drive system is noise-free and provides higher speed, acceleration and system responsiveness without the wear associated with motor brushes or drive screws.

FEM - 優化的鋁制機身

有限元法（FEM）用于優化ILS系列舞臺鋁制車體的結構設計，從而在不降低重量的情況下實現很高的剛度并大程度地減少了雙金屬彎曲。 剛體設計減少了載荷下的撓曲，從而在鋁制載物臺設計中實現了最高的性能。 還提供了FEM優化的IMS平臺，可提供更長的行程范圍，更高的負載能力和更大的移動平臺。

旋轉或線性編碼器選項

4000 pts/rev 的編碼器直接安裝在螺桿上，這樣可防止出現螺桿/電機耦合誤差，從而提高平移臺運動精度。HA 版本具有 0.3 µm MIM 的集成線性標度。

旋轉編碼器                                           線性編碼器

循環滾珠軸承滑塊

借助精確的線性軌跡，循環滾珠軸承滑軌可提供優異的有效載荷和更長的使用壽命。它可以緩解滾珠軸承罩移位的問題，該問題通常出現在線性滾珠軸承或交叉滾子軸承上。

無側隙滾珠絲杠

ILS 平移臺包含有預裝的無側隙滾珠絲杠，可實現具有較短步進時間和穩定時間的平滑且快速的運動。螺桿型材的設計在于減少熱效應，從而延長平移臺的使用壽命。

其他ILS位移臺特性

牢固的頂蓋可防止傳動系統的損壞，并且可使其免受灰塵和碎屑的影響。ILS 系列平移臺還配有實現可重復初始化的位于行程中心的原點、防止超程的限位開關以及用于平穩緊急制動的彈性行程終點阻尼器。

誤差顯示服務

對于關鍵的定位應用，Newport 提供微定位校準服務。當我們的 XPS 高級運動控制系統發出指令時，我們將創建、實施和驗證電子補償過程，從而提高所選 ILS-HA 系列平移臺的絕對位置精度。此外，還可以使用多軸微定位校準服務。 測試在20.0±0.2℃下進行。我們將提供您的平臺校準證書，也可根據要求提供實際數據。

多軸裝配

Newport的標準電動平移臺和部件可以很容易地組合，以創建數百種可能的多軸系統。根據產品和應用的不同，我們的標準組件提供以下精密對準:

●Orthogonality to 50 µrad

●Axes Coincidence to 20 µm

XY裝配

IMS300線性平移臺（X軸）和ILS150線性平移臺（Y軸）直接安裝在一起，以便在兩個線性運動軸上實現高精度。

X-Θz 裝配

ILS150線性位移臺（X軸）和URS100旋轉位移臺（θz角）直接安裝在一個直線運動的軸和一個旋轉運動的軸上，以實現高精度和高精度。

XYZ 裝配

IMS線性平移臺（X軸），一個ILS線性平移臺(Y軸）直接安裝到IMS，ILS線性平移臺安裝在一個EQ120直角托架上 (Z-軸)，在三個線性運動軸上提供高精度。

X-Θy 裝配

ILS線性位移臺和 RV旋轉位移臺安裝在 EQ120 直角支架，用于在一個直線運動的軸和一個旋轉運動的軸上提供高精度和高精度。

XZ-Θz 裝配

ILS250線性位移臺（X軸）， GTS30V垂直位移臺（Z軸）和 URS100旋轉臺（Θz角）直接安裝 在兩個線性運動軸和一個旋轉運動軸上，具有較高的精度和精度。

XY-Θz 裝配

IMS300線性平移臺（X軸），一個ILS150線性平移臺（Y軸）和一個URS100轉臺 (Θz 角)直接安裝在一起，以便在兩個線性運動軸和一個旋轉運動軸上實現高精度。

免費提供計量報告

Newport 保證根據 ASME B5.57 和 ISO 230-2 標準測量和記錄的規格值。典型性能值比可保證值高出兩倍。

ILS平移臺負載特性

Compatible Controllers

The ILS-CC and ILS-HA versions are compatible with XPS-D, XPS-RLD and legacy XPS-RL motion controllers. To use an XPS controller, the appropriate driver module (sold separately from the controller) shown in the table below must drive the stage.

The ILS-CC and ILS-HA are also plug-and-play compatible with the ESP302 and legacy ESP301 motion controllers.

The ILS-CCL is compatible only with the SMC100CC single-axis DC motor motion controller.