Uniscan M470

微區(qū)掃描電化學工作站基于電化學掃描探針設計，具有超高測量分辨率及空間分辨率的非接觸式微區(qū)形貌及電化學微區(qū)測試系統(tǒng)，快速精準的閉環(huán)定位系統(tǒng)為電化學掃描探針納米級研究的需求而特別設計。目前已迭代至第四代掃描探針系統(tǒng)，是最靈活的電化學掃描探針工作平臺，適配多種探針技術和不同模塊。

9種探針技術

掃描電化學顯微系統(tǒng)（SECM）

交流掃描電化學顯微鏡系統(tǒng)（ac-SECM）

間歇接觸掃描電化學顯微鏡系統(tǒng)（ic-SECM）

微區(qū)電化學阻抗測試系統(tǒng)(LEIS)

掃描振動點擊測試系統(tǒng)（SVET）

電解液微滴掃描系統(tǒng)（SDS）

交流電解液微滴掃描系統(tǒng)（ac-SDS）

掃描開爾文探針測試系統(tǒng)（SKP）

非觸式微區(qū)形貌測試系統(tǒng)（OSP）

M470 微區(qū)掃描電化學工作站特征：

SECM自動處理曲線。

SECM用戶自定義處理曲線步長變化。

高分辨率讀取。

手動或自動調節(jié)相位。

傾斜校正。

X或Y曲線相減（5階多項式）。

2D或3D快速傅里葉變化。

實驗，探針移動和區(qū)域繪圖的自動排序。

圖形實驗測序引擎（GESE）。

支持多區(qū)域掃描。

所有實驗多個數據視圖。

峰值分析。

掃描工作臺（適配所有探針技術）                 

掃描范圍（x,y,z）：大于100mm

掃描驅動分辨率 ：高0.1nm

閉環(huán)定位：線性零滯后編碼器，直接實時讀出x,z和y位移

軸分辨率（x,y,z）：20nm

大掃描速度：12.5mm/s

壓電（ic-和ac-掃描探針技術）

振動范圍：20nm~ 2μm峰與峰之間1nm增量

最小振動分辨率：0.12nm(16-bit DAC,4μm)

壓電晶體伸展：100μm

定位分辨率 ：0.09nm(20-bit DAC ,100μm)