EPMA-8050G 場發射電子探針
- 公司名稱 廣州領拓儀器科技有限公司
- 品牌 SHIMADZU/島津
- 型號
- 產地
- 廠商性質 代理商
- 更新時間 2023/10/9 14:28:18
- 訪問次數 415
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價格區間 | 5萬-10萬 | 儀器種類 | 進口 |
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應用領域 | 綜合 |
· 硬度標尺 :4Be~92U
· 發射源:搭載高亮度肖特基發射體
· 二次電子圖像分辨率:3nm(加速電壓30kV)
· X射線取出角角度:52.5°,限度減少X射線被吸收
· 分光晶體:全聚焦型
· X射線譜儀:高靈敏度、高分辨率型
1 高亮度肖特基發射體
場發射電子槍采用的肖特基發射體比一般傳統SEM使用的發射體針尖直徑更大,輸出更高。即可以保持其高亮度,還可提供高靈敏度分析的穩定大電流。
2 EPMA專用電子光學系統
電子光學系統,聚光透鏡盡可能的接近電子槍一側,交叉點不是靠聚光透鏡形成,而是由安裝在與物鏡光闌相同位置上,具有獨立構成與控制方式的可變光闌透鏡來形成交叉點的。簡單的透鏡結構,既能獲得大束流,同時全部電流條件下設定最合適的打開角度,將電子束壓縮到最細。當然是不需要更換物鏡光闌的。
3 超高真空排氣系統
電子槍室、中間室、分析腔體之間分別安裝有篩孔(orifice)間隔方式的2級差動排氣系統。中間室與分析腔體間的氣流孔做到最小,以控制流入中間室的氣體,使電子槍室始終保持著超高真空,確保發射體穩定工作。
4 高靈敏度X射線譜儀
最多可同時搭載5通道兼顧高靈敏度與高分辨率的4英寸X射線譜儀。52.5°的X射線取出角在提高了X射線信號的空間分辨率的同時,又可減小樣品對X射線的吸收,實現高靈敏度的分析。