LODAS™ – BI8 Photomask Blanks缺陷檢查裝置
具體成交價以合同協議為準
- 公司名稱 岱美儀器技術服務(上海)有限公司
- 品牌 LAZIN
- 型號 LODAS™ – BI8
- 產地
- 廠商性質 代理商
- 更新時間 2024/11/9 14:56:08
- 訪問次數 1320
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列真株式會社自創業以來,秉承“挑戰"、“創造"、“誠實"的經營理念,為顧客提供可靠、可信的產品和服務。運用激光掃描技術,專門制造、銷售半導體材料表面及內部檢查、石英玻璃表面檢查等檢查裝置。
特征:
可檢查鉻膜、半色調膜、光阻膜
白缺陷、黑缺陷的自動判別
不僅是表面缺陷,內部缺陷和背面缺陷也同時檢查。
有助于缺陷分析的4種Review圖像。
“AI Classify”進行缺陷分類、好壞判定。
免維護。
世界FIRST使用反射散射光、透射散射光、共聚焦光的混合檢查裝置。
能檢出至今為止檢查不出的缺陷。
檢出缺陷:顆粒、劃痕、凹坑、氣泡。
規格:
檢查激光:405nm 200mW LaserDiode
檢查時間:180sec
檢查對象:6英寸 Photomask blanks
設備尺寸:WxDxH=450x500x730mm
使用電源:AC100V~200V 10A