樣品腔容積 | 10L | 樣品腔材質 | 石英玻璃 |
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樣品腔尺寸 | φ200*320Lmm | 頻率 | 2.45GHz微波等離子源 |
功率 | 400W | 放電類型 | 磁增強微波放電 |
等離子轟擊 | 從四周向中間 | 腔體溫度 | 滿功率運行3分鐘腔體溫度小于40°C40 |
功率調節 | 高、中、低三擋可調 | 操作控制 | 觸摸屏控制 |
工作氣路 | 2路 | 泄壓 | 自動泄壓 |
控制方式 | 自動 |
微波等離子去膠機VP-Q10等離子激發頻率2.45GHz,石英玻璃腔體,中英文操作系統,觸摸屏控制,頻率2.45GHz有強的化學作用,適用于芯片微波去膠、半導體光刻膠去除、金屬油污去除、半導體、塑料、PP、高分子等材料清洗,活化,蝕刻和改性。
廣州善準科技有限公司(Guangzhou SunJune Technolog Co.,Ltd)位于中國廣州,專注于微波等離子去膠機、真空等離子處理儀、旋轉型真空等離子處理儀、旋轉型等離子體低溫灰化儀和石英管真空封管機的研究、開發和制造。善準人經過多年的刻苦鉆研,抽絲剝繭,反復測試、成功獲得“一種低溫旋轉型石英等離子表面處理裝置:ZL202020226847.2)”等十項國家技術及軟件著作權,成為國內掌握產生13.56MHz頻率,保證滿功率清洗30分鐘真空腔體內溫度不超過32攝氏度的等離子生產廠家,應用此技術的VP-R系列迅速成為行業“爆款”,補充國內技術短板,性能比肩一線廠家;研發生產的VP-T系列旋轉型真空等離子處理儀和VP-TA系列旋轉型等離子體低溫灰化儀成功推出,進一步鞏固了善準科技在真空等離子清洗行業的地位;而回應市場需求,解決樣品在無氧無水條件下進行PLASMA處理的痛點而推出的手套箱專用分體式真空等離子處理儀和解決卷材進行PLASMA處理難點而研發的卷對卷真空等離子處理儀,則驗證了善準人與時俱進的研發能力和敢為人先的風格;VS-Q系列石英管真空封管機解決實驗室安全、簡易地真空密封石英管的難點,是對石英管真空密封技術的重新定義。