Avantgarde 室溫電磁鐵探針臺不僅可以完成永磁鐵探針臺所能完成的測試，并且可以為樣品測試提供一個可變磁場，磁場較強，磁場均勻區較大。此款探針臺專門為在測量過程中需要連續磁場變化的實驗設計，在室溫下對芯片、晶圓和器件進行非破壞測試。

PSEM系列室溫電磁體探針臺是一款專門針對室溫可變磁場電測環境開發的探針臺，提供±0.6T垂直磁場或±0.3T水平磁場，能夠對2寸、4寸晶圓片進行重復性的、標準的電學實驗，外接不同的測試設備可以完成對器件的電學特性測量、參數測量、DC測量、RF測量和霍爾測量。

特點

• 樣品座可以放置4英寸的晶圓樣品，通過移動樣品座下面的滑臺，可以實現X-Y軸±50mm的移動行程，并且樣品座本身可以進行三維上的精細調節，使得樣品測試和換樣    更加便捷。

• 探針臂底座采用磁鐵吸附固定，可使探針在X-Y-Z三個維度上進行調節，配合樣品座位移調節，可滿足探針快速扎到4英寸樣品的任意位置（探針臂最多可安裝6個，水平    磁場電磁鐵探針臺最多可安裝4個）

• 探針臂采用三同軸線纜和三同軸接頭，漏電性小，漏電流在100fA以內，探針臂內置線纜，避免雜亂的走線

• 探針采用針套固定，只有針尖裸露在外，減小漏電

• 電磁鐵支架與探針臺采用分體隔離支架，在磁體運動時避免振動傳導到樣品上

• 樣品固定方式采用多孔分區吸附，有外圈、內圈和中間三個單獨控制的氣體吸附通道，最小可吸附固定1mm*1mm樣品

• CCD放大倍數為180倍，工作距離為100mm