PSV-4 手動真空探針臺

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手動探針臺手動真空探針臺真空探針臺探針臺

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公司介紹 主營產品

上海胤企制冷設備有限公司（Avantgarde）成立于2011年，是一家從事特種探針臺、實驗室超低溫及強磁場系統研發制造，集研發、生產、銷售于一體的現代高科技企業，主要為高校、科研院所、制造業研發中心及系統集成企業提供的半導體測試系統及科研儀器設備，多年致力深耕低溫磁場及探針臺技術。

公司已自主研發了一系列特種室溫探針臺、低溫探針臺、科研超導磁體、低溫恒溫器、霍爾效應測試系統、三維磁場測試平臺等產品。

展開

探針臺；手動探針臺；低溫探針臺；低溫恒溫器

Avantgarde 室溫真空探針臺能夠為半導體芯片的電學參數測試提供一個室溫真空測試環境，通過外接不同的電學測量儀器，可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及IV曲線等參數檢測，用于室溫真空環境下的芯片、晶圓和器件的非破壞性電學測試。

PSV系列室溫真空探針臺是一款專門針對室溫真空電測環境開發的探針臺，能夠對2寸、4寸晶圓片進行重復非破壞性的、標準的電學實驗，外接不同的測試設備可以完成對器件的電學特性測量、參數測量、DC測量和RF測量。

特點

• 真空腔極限真空度能夠達到5E-4 mbar，通過真空泵連接KF25法蘭抽真空。

• 樣品座可以放置4英寸的晶圓樣品，探針臂的位移調節在真空腔外操作，可以在不破壞真空的情況下，切換樣品上的不同器件進行測試。探針臂可在X-Y-Z-R范圍內進行四維調節，能滿足4英寸范圍內全部位置的扎針測試。

• 真空腔材質為鋁制材料，能夠有效減小外界的電磁干擾，提高測試的精準度和穩定性。

• 直流探針臂采用三同軸接頭，漏電性能好，使用4200實測漏電流小于100fA @1V。

• 設計的柔性探針，將探針安裝到銅制彈片上，避免扎針過程中力量過大導致樣品或電極損壞。

• 可選微波探針臂，頻率可達到110GHz。