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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>熱工藝設備/熱處理設備>退火爐>RTP-3-01 晶化快速退火爐 嘉儀通 半導體退火設備

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RTP-3-01 晶化快速退火爐 嘉儀通 半導體退火設備

具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱 武漢嘉儀通科技有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號 RTP-3-01
  • 產地
  • 廠商性質 生產廠家
  • 更新時間 2023/6/24 16:55:06
  • 訪問次數 188

聯系我們時請說明是化工儀器網上看到的信息,謝謝!


武漢嘉儀通科技有限公司成立于2009年是以薄膜物性測量儀器作為戰略定位,技術自主創新的國家新技術企業。公司集快速退火爐,霍爾效應測試,RTP,RTA,RTO,熱電參數測試,Seebeck系數測試,電導率測試,熱導率測試,相變溫度分析,液氮低溫恒溫器等物性檢測儀器和半導體工藝設備的研發、市場和技術服務于一體,且相繼被評為湖北省“百人計劃”及武漢市政府“城市合伙人”企業。

  武漢嘉儀通科技有限公司始終堅持自主研發與應用創新,擁有自己的技術工程師研發團隊,建有省級工程實驗室、新型研發機構以及市級企業技術中心平臺,擁有知識產權100多項,主持承擔參與了10余項國家科技攻關項目。2020 年,公司研發的“薄膜材料熱特性測試技術及儀器”技術與產品榮獲了“湖北省技術發明一等獎”。核心序列產品廣泛應用于大專院校、科研院所、第三方檢測機構和工業企業等細分領域,并服務于國內近500家客戶。除此之外,核心產品還遠銷美國、英國、日本、澳大利亞、以色列、香港、澳門、中國臺灣等20多個國家和地區,實實在在為新材料的科研和生產創造了價值。未來,公司依托省級科研共享平臺的大數據分析,為世界各國用戶的薄膜技術研究及戰略方向提供理論依據與數據支撐。 

  武漢嘉儀通科技有限公司秉承技術創新、應用為上的行動準則,遵循“專注、創新、成長、勤勉”的核心價值理念,認真做好每一款產品,為客戶提供合適的產品與優質的服務。最終實現公司愿景:和員工一起成長為薄膜(熱)測量領域的先鋒者!

 

快速退火爐,半導體退火設備,液氮低溫恒溫器,快速退火爐RTP

晶化快速退火爐  嘉儀通 半導體退火設備采用紅外輻射加熱技術,可實現1吋(選配2吋)樣品快速升溫和降溫,同時搭配超高精度溫度控制系統,可達到好的溫場均勻性,對薄膜材料進行晶化快速退火處理,提高薄膜材料的均勻性及穩定性。

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晶化快速退火爐 嘉儀通 半導體退火設備產品特點:

快速加熱和降溫: 可控升溫速率可達50 ℃/s,特定條件下可以達到100 ℃/s。冷壁水冷設計能夠達到較大的降溫速率,特定條件下可達30 ℃/s。

 精確控溫: 采用工業級溫控器進行PID精確控溫,目標溫度與設定溫度曲線一致性高,可實現室溫至1200 ℃的溫度精確控制。

 適應多種工藝環境: 滿足多種工藝氣氛下的熱處理(氮氣、氬氣等)。同時,通過選配真空泵,可以在真空條件下進行退火,真空度可達10-3Pa。

 配備觀察窗口: 通過觀察窗口,可以實時觀察熱處理過程中的樣品變化。同時,可以結合相關測試方法進行原位測試分析。

 超高安全系數: 采用爐壁超溫報警系統和冷卻水流量報警系統,多方位保障儀器使用安全。

 國產退火爐:擁有自主研發技術和制造能力,能快速反應客戶售后需求。

 

晶化快速退火爐技術參數:

 

型號

RTP-3-01系列

溫度

1200℃

升溫速率

50℃/s

溫度均勻性

≦1%設定溫度

溫度控制

選用工業級溫控器,控溫精度±0.1℃

溫度傳感器

標準K型熱電偶

降溫速率

1200℃→400℃,200℃/min

400℃→100℃,20℃/min

(自然冷卻)

樣品尺寸

W20 x L20 x T2   (mm)

主機尺寸

W420X L320X   H220 (mm)

主機重量

20.5kg

 

晶化快速退火爐  嘉儀通 半導體退火設備客戶案例:

 

清華大學使用嘉儀通1吋晶化快速退火爐給HfO2薄膜做晶化退火,得到晶相一致晶粒較小的晶體,提高薄膜材料的均勻性及穩定性

 


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