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化工儀器網>產品展廳>實驗室常用設備>恒溫/加熱/干燥>馬弗爐/電阻爐/實驗爐>RTP-3-01 1200℃快速退火爐 實驗室晶圓快速熱處理

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RTP-3-01 1200℃快速退火爐 實驗室晶圓快速熱處理

具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱 武漢嘉儀通科技有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號 RTP-3-01
  • 產地
  • 廠商性質 生產廠家
  • 更新時間 2023/6/14 11:03:21
  • 訪問次數 210

聯系我們時請說明是化工儀器網上看到的信息,謝謝!


武漢嘉儀通科技有限公司成立于2009年是以薄膜物性測量儀器作為戰略定位,技術自主創新的國家新技術企業。公司集快速退火爐,霍爾效應測試,RTP,RTA,RTO,熱電參數測試,Seebeck系數測試,電導率測試,熱導率測試,相變溫度分析,液氮低溫恒溫器等物性檢測儀器和半導體工藝設備的研發、市場和技術服務于一體,且相繼被評為湖北省“百人計劃”及武漢市政府“城市合伙人”企業。

  武漢嘉儀通科技有限公司始終堅持自主研發與應用創新,擁有自己的技術工程師研發團隊,建有省級工程實驗室、新型研發機構以及市級企業技術中心平臺,擁有知識產權100多項,主持承擔參與了10余項國家科技攻關項目。2020 年,公司研發的“薄膜材料熱特性測試技術及儀器”技術與產品榮獲了“湖北省技術發明一等獎”。核心序列產品廣泛應用于大專院校、科研院所、第三方檢測機構和工業企業等細分領域,并服務于國內近500家客戶。除此之外,核心產品還遠銷美國、英國、日本、澳大利亞、以色列、香港、澳門、中國臺灣等20多個國家和地區,實實在在為新材料的科研和生產創造了價值。未來,公司依托省級科研共享平臺的大數據分析,為世界各國用戶的薄膜技術研究及戰略方向提供理論依據與數據支撐。 

  武漢嘉儀通科技有限公司秉承技術創新、應用為上的行動準則,遵循“專注、創新、成長、勤勉”的核心價值理念,認真做好每一款產品,為客戶提供合適的產品與優質的服務。最終實現公司愿景:和員工一起成長為薄膜(熱)測量領域的先鋒者!

 

快速退火爐,半導體退火設備,液氮低溫恒溫器,快速退火爐RTP

產地類別 國產 價格區間 30萬-50萬
儀器種類 真空爐 應用領域 電子,航天,電氣

嘉儀通 1200℃快速退火爐 實驗室晶圓快速熱處理,快速退火爐對材料的快速熱處理(RTP)、快速退火(RTA)、快速熱氮化(RTN)、快速熱氧化(RTO)及金屬合金化等研究和生產起到重要作用。

快速退火爐RTP-3-01系列.png

溫度范圍:RT~1200℃,大升溫速率:50 ℃/s  控溫精度:±0.1℃   溫度均勻性:±1%   降溫速率:1200℃→400℃:200℃/min400℃→100℃:20℃/min

快速退火爐可應用于集成電路的離子注入退火;集成電路、LED芯片、半導體激光器芯片、射頻芯片、MEMS芯片、功率器件、分立器件、第三代半導體等的合金化退火;石墨烯,Au納米晶的制備;集成電路,LED芯片、第三代半導體等的致密化退火;集成電路、分立器件、功率器件、射頻芯片等的熱氮化/熱氧化退火。

嘉儀通 1200℃快速退火爐 實驗室晶圓快速熱處理 產品特點

● 快速加熱和降溫: 高可控升溫速率可達50 ℃/s,特定條件下可以達到100 ℃/s。冷壁水冷設計能夠達到較大的降溫速率,特定條件下可達30 ℃/s。

● 精確控溫: 采用工業溫控器進行PID精確控溫,目標溫度與設定溫度曲線一致性高,可實現室溫至1200 ℃的溫度精確控制。

● 適應多種工藝環境: 滿足多種工藝氣氛下的熱處理(氮氣、氬氣等)。同時,通過選配真空泵,可以在真空條件下進行退火,高真空度可達10-3Pa。

● 配備觀察窗口: 通過觀察窗口,可以實時觀察熱處理過程中的樣品變化。同時,可以結合相關測試方法進行原位測試分析。

● 超高安全系數: 采用爐壁超溫報警系統和冷卻水流量報警系統,多方位保障儀器使用安全。

● 國產退火爐:擁有自主研發技術和制造能力,能快速反應客戶售后需求。


本產品其它的優勢:

可測大尺寸樣品

可遠程操作

壓力控制系統創新設計

存儲熱處理工藝

快速控溫與高真空

程序設定與氣路擴展

腔體空間設計

全自動智能控制

超高安全系數

國產退火爐


 




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