RTP-3-01 1200℃快速退火爐 實驗室晶圓快速熱處理
具體成交價以合同協議為準
- 公司名稱 武漢嘉儀通科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 RTP-3-01
- 產地
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2023/6/14 11:03:21
- 訪問次數 210
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產地類別 | 國產 | 價格區間 | 30萬-50萬 |
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儀器種類 | 真空爐 | 應用領域 | 電子,航天,電氣 |
嘉儀通 1200℃快速退火爐 實驗室晶圓快速熱處理,快速退火爐對材料的快速熱處理(RTP)、快速退火(RTA)、快速熱氮化(RTN)、快速熱氧化(RTO)及金屬合金化等研究和生產起到重要作用。
溫度范圍:RT~1200℃,大升溫速率:50 ℃/s 控溫精度:±0.1℃ 溫度均勻性:±1% 降溫速率:1200℃→400℃:200℃/min400℃→100℃:20℃/min
快速退火爐可應用于集成電路的離子注入退火;集成電路、LED芯片、半導體激光器芯片、射頻芯片、MEMS芯片、功率器件、分立器件、第三代半導體等的合金化退火;石墨烯,Au納米晶的制備;集成電路,LED芯片、第三代半導體等的致密化退火;集成電路、分立器件、功率器件、射頻芯片等的熱氮化/熱氧化退火。
嘉儀通 1200℃快速退火爐 實驗室晶圓快速熱處理 產品特點
● 快速加熱和降溫: 高可控升溫速率可達50 ℃/s,特定條件下可以達到100 ℃/s。冷壁水冷設計能夠達到較大的降溫速率,特定條件下可達30 ℃/s。
● 精確控溫: 采用工業溫控器進行PID精確控溫,目標溫度與設定溫度曲線一致性高,可實現室溫至1200 ℃的溫度精確控制。
● 適應多種工藝環境: 滿足多種工藝氣氛下的熱處理(氮氣、氬氣等)。同時,通過選配真空泵,可以在真空條件下進行退火,高真空度可達10-3Pa。
● 配備觀察窗口: 通過觀察窗口,可以實時觀察熱處理過程中的樣品變化。同時,可以結合相關測試方法進行原位測試分析。
● 超高安全系數: 采用爐壁超溫報警系統和冷卻水流量報警系統,多方位保障儀器使用安全。
● 國產退火爐:擁有自主研發技術和制造能力,能快速反應客戶售后需求。
本產品其它的優勢:
可測大尺寸樣品
可遠程操作
壓力控制系統創新設計
存儲熱處理工藝
快速控溫與高真空
程序設定與氣路擴展
腔體空間設計
全自動智能控制
超高安全系數
國產退火爐