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customized 刻蝕機終點檢測系統

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深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術服務的高新技術企業。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設備、半導體光電測試儀表及相關儀器裝備維護、保養、售后技術支持及實驗室整體服務。

公司目前已授實用新型權利 29 項,軟件著作權 14 項,是創新型中小企業、科技型中小企業、規模以上工業企業。

 

 

 

 

 

 

 

 

冷熱臺,快速退火爐,光刻機,納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發

產地類別 國產 價格區間 面議
應用領域 能源,建材,電子,汽車,綜合

刻蝕機終點檢測系統 產品介紹:


刻蝕機終點檢測系統 問題解決方案-軟件ideaEPD

主要特點:                                                      

1.實時顯示全譜與至少6個峰的時序譜。                                                          

2.在時序譜上實時顯示各種事件的縱線標記,包含啟輝 信號、預延遲、終點信號等。                        

3.配置文件管理界面提供強大與靈活的終點判斷算法, 增加了用戶的可操作性,準確找到刻蝕終點。              

4.包含本地與遠程模式,下位機在遠程模式下由上位機 控制,并可在檢測到終點后實時向上位機發送信號。

5.歷史數據可以批量查看,并且可以用新的配置文件再 處理,以便用戶尋找更合適終點算法。              

6.可以查看歷史數據中不同波長對應的時序圖,以便找到適合終點判斷的譜線,方便用戶探索新工藝。

                               







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