善時掃描電子顯微鏡SS-60系列

SS-60  系列產品作為基礎款臺式掃描電鏡，能滿足大部分用戶的基本實驗需求，配置 SE 二次電子探測器與 BSE 背散射電子探測器，載物平臺可配置三軸（X,Y,R）手動平臺，也可升級為五軸（X,Y,R,Z,T）自動平臺，全系列產品均可配置 EDS 能譜分析儀。

掃描電子顯微鏡已廣泛用于材料科學（金屬材料、非金屬材料、納米材料）、冶金、生物學、醫學、半導體材料與器件、地質勘探、病蟲害的防治、災害（火災、失效分析）鑒定、刑事偵察、寶石鑒定、工業生產中的產品質量鑒定及生產工藝控制等。

自動/手動掃描電鏡

掃描電鏡SS-60系列是一種用于放大并觀察物體表面結構的電子光學儀器。產品結構設計簡潔，高低壓真空設計，可調試電壓，為不同樣品提供更合適的檢測環境。

概況

掃描電子顯微鏡的英文全稱為Scanning Electron Microscope,簡稱掃描電鏡或者SEM。掃描電鏡是一種用于放大并觀察物體表面結構的電子光學儀器。掃描電鏡由鏡筒、電子信號的收集和處理系統、電子信號的顯示和記錄系統、真空系統和電源系統等組成，具有放大倍數可調范圍寬、圖像分辨率高和景深大等特點。

軟件特性

臺式電鏡，體形小巧，占用空間小；

強大的軟件功能，單窗口操作界面讓用戶操作方便簡單；

軟件實現檢測圖形實時存儲；

產品結構設計簡潔，易于維護及保養；

自動平臺采用中心定位模式，迅速定位待測樣品；

高低壓真空設計，可調試電壓，為不同樣品提供更合適的檢測環境

產品說明：

(1 )放大倍率是6萬倍；

(2 )采用二次電子和背散射電子兩種探測器；

(3)加速電壓有1KV、5KV、10KV、15KV、20KV、30KV可選，圖像分辨率高;

(4 )通過選配EDS可進行元素成份分析;

(5 )選配冷卻臺可在無前置處理的情況下對水分進行采樣分析;

(6 )高/低真空的配置可縮短前處理過程；

(7 )選配CCD攝像頭可實時觀察載物臺內部；

產品說明：

（1）放大倍率6萬倍（Magnification Max 60,000 X）；

（2）采用二次電子和背散射電子雙重探測器（Signal Detection: SE Detector+BSE Detector）；

（3）5kV~30kV加速電壓選擇，圖像分辨率高（Accelerating Voltage:1kV to 30kV，High image resolution）；

（4）通過選配EDS可進行元素成份分析（EDS is optional, for component analysis）；

（5）Tilt（0~90）載物臺配置（可選擇）（Tilt Stage configuration( optional)）。

產品特性：

（1）臺式掃描電子顯微鏡，體型小巧，占用空間小；

（2）強大的軟件功能，單窗口操作界面，讓用戶操作方便簡單；

（3）軟件實現檢測圖形實時存儲；

（4）掃描電子顯微鏡產品結構設計簡潔，易于維護及保養；

（5）自動平臺采用中心定位模式,迅速定位待測樣品。

善時掃描電子顯微鏡SS-60系列技術參數：

分辨率

15nm (30kV, SE Image)

20nm (30kV, BSE Image)

放大倍率

30~60,000 X

加速電壓

5kV to 30kV (5kV/10 kV /15kV/20kV/30 kV -5step)

圖像檢測

二次電子圖像-(SE)-Secondary Electron Image

背散射電子圖像(BSE)-Backscattered Electron Image

* Multi Detector (SE+BSE)

觀察模式

Standard Mode

Charge-up reduction mode

電子槍系統

燈絲類型

預對中鎢燈絲

偏壓系統

自動偏壓方式

電子槍校正

手動方式

透鏡構成

聚光鏡

2段式磁線圈透鏡

物鏡

1段式磁線圈透鏡

探測器類型

SE Detector/ BSE Detector

載物臺系統

自動或者手動

載物臺移動

3軸（X，Y，R）或5軸（X，Y，R，Z，T）

圖像偏移

Image shift X, Y Image Shift (±150μm)

樣品尺寸

高度40mm時直徑70mm

圖像掃描

快速掃描: 320x240 (Scan time: 0.1 sec.)

低速掃描 : 640x480 (Scan time: 3 sec.)

圖片模式1: 1280x960 (Scan time: 30sec.)

圖片模式2: 2560x1920 (Scan time: 60sec.)

圖片模式3: 5120x3840 (Scan time: 120sec.)

自動功能

自動啟動，自動聚焦，自動亮度對比度調節

圖像存儲格式

BMP, JPEG, PNG,TIFF

數據顯示

放大倍率，探測器類型，電壓，真空模式，Logo(Text)，Date and time，Text marker，比例尺等

真空系統

高真空模式

（旋轉式機械泵）Rotary Pump/100Liters/min

（渦輪式分子泵）Turbo Molecular Pump/ 70Liters/sec

抽真空時間：3分鐘以內

操控系統

鼠標和鍵盤

PC：臺式電腦（Desk Top）    

軟件

圖像文件打開，編輯，存儲功能長度，面積，角度等測量功能,設置數初始化，圖像拍攝模式轉換，Archives, Setting(EDS)模式等

體積

設備主機-410(W)×660(D)×600(H)mm

外置真空泵-400(W)×160(D)×340(H)mm

重量

95kg

設備環境

溫度：15℃~30℃

濕度：70% or less

電源：Single phase 100~240V AC, 1kW, 50/60Hz

預對中鎢燈絲Pre Centered tungsten filament    5 pcs/box

載物臺（Sample Stage）

高度基準模塊(Height standardmaster)   1ea