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XENOS 三坐標測量機

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北京瑞科中儀科技有限公司專注半導體材料研究分析設備的研發和應用。專業的團隊,專精的服務,提供理想的解決方案。

我們長期專注于半導體材料研究與分析設備的經銷和代理,為高校、企業科研工作者提供專業的分析解決方案。以專業技能為導向,用科技來解決用戶在科研中遇到的難題。專業的技術工程師和科研工作者進行現場演示和技術交流,打消顧慮,彼此協作,為我國的科研領域譜寫新篇章。

北京瑞科中儀科技有限公司長期代理銷售供應多種分子材料的研究分析設備,其中包括但不限于掃描電子顯微鏡、感應耦合等離子體化學氣相沉積系統、離子束刻蝕機、等離子清洗機、物理氣相沉積系統以及各品牌的光學顯微鏡以及實驗室設備儀器。

客戶至上的服務理念,以人為本的企業文化,我們始終為用戶提供專業的服務!

合作丨共贏,選擇我們,選擇未來!

 

半導體材料分析,材料刻蝕

產地類別 國產 產品種類 復合式
工作方式 水平式 工作原理 自動型
價格區間 面議 應用領域 環保,化工,電子

三坐標測量機

蔡司三坐標測量機XENOS可在各類要求高測量精度的領域使用——從科研機構的測量實驗室、航空和航天工業直至光學工業。這一三坐標測量機的測量精度達到技術ji限,其測量范圍近1立方米。 創新的機械設計


XENOS采用了全新的機械設計理念。與標準橋式三坐標測量機不同:Y導軌分布于側壁頂部,分離式移動行程軸僅橫梁于Y軸方向移動,更小及恒定的移動重量——與移動式平臺相比堪稱真正的優勢。更低及恒定的移動重量造就了加速及高速度的統一。

所有軸均采用線性驅動

XENOS的所有軸均采用線性驅動。其優點:高速、加速極快、定位精度高、驅動無剪切力影響。結合超高分辨率光柵尺技術,XENOS的線性驅動可獲得高度穩定性及低于100納米的定位精度。例如,測針偏移量越恒定,即可獲得更佳的測量精度。于測量曲面時更顯見另一優勢:測針的移動路徑與預定值越吻合,即可實現越出色的精確性。

虛擬中央驅動

XENOS于Y軸向配備雙線性驅動系統,得益于蔡司新的中央驅動技術可實現佳的同步控制。該技術可據X軸位置分布驅動力。作為控制系統及算法之結合,這是在整個測量范圍內獲得測量精度及運動穩定性的關鍵因素。

碳化硅陶瓷

XENOS在與精度密切相關的機器部件上采用創新的碳化硅陶瓷材料。迄今為止,該材料從未在類似產品或精度的測量機器上得到使用。與常規陶瓷相比,碳化硅陶瓷的熱膨脹性降低約50%,而剛性則可大提升30%,同時減重20%。與鋼材相比,碳化硅陶瓷重量降低50%而竟仍可獲得兩倍的剛性。

加強型VAST gold

XENOS采用蔡司VAST gold測量探頭。在研發過程中,蔡司在測量精度和測量重復度方面對該探頭進行了優化。XENOS也采用了新型剛性連接。VAST gold探頭可與大長度為800毫米的測針以及大重量為500克的測針配套使用,包括非對稱型測針。

優化的氣浮軸承

全新強化處理氣浮軸承具有更佳的穩定性及測量精度。

改進的電子設計

通過全新的電子設計,移動線纜對精度影響顯著降低。計算機輔助精度修正(CAA)法和特殊附加CAA修正技術在獲得zui大測量精度的過程中扮演著日趨重要的作用。
測量范圍(in mm)


XYZ
9/15/79001,500700


長度測量誤差E0

自0.3+L/1,000μm


可配置的探頭

VAST gold


可選用的軟件

calypso


蔡司測量解決方案



xenos


 





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