晶圓刻號(hào)打碼機(jī)

產(chǎn)品介紹

是專業(yè)化的晶圓激光刻號(hào)打碼專用設(shè)備，適用于2-8英寸晶圓的軟打標(biāo)、硬打標(biāo)作業(yè)。

支持OCR字符和點(diǎn)陣字符，

適用于Si, GaAs, Ge, SiC, GaP, InP, Sapphire, Quartz等的軟打標(biāo)、硬打標(biāo)。

全自動(dòng)生產(chǎn) 可加工2〞-  6〞、4〞-  8〞、8〞- 12〞晶圓

工業(yè)級(jí)激光器，穩(wěn)定可靠，免維護(hù)

光束質(zhì)量好，標(biāo)識(shí)精細(xì)，可讀性好

操作界面友好，使用方便 ，

無(wú)需外接水冷機(jī)

應(yīng)用范圍：

2-8英寸晶圓的軟打標(biāo)、硬打標(biāo)

適用于Si, GaAs, Ge, SiC, GaP, InP, Sapphire, Quartz等的刻號(hào)、打碼。

技術(shù)規(guī)格                             項(xiàng)目                          單位                           數(shù)值

*大加工尺寸                   晶圓尺寸                       inch                           6英寸

激光器功率                    激光器出口處                     w                             20瓦

激光器波長(zhǎng)                  紅外光纖激光器                   nm                        1064納米

                                        定位精度                        mm                        0.05毫米

                                        重復(fù)精度                        mm                         0.02毫米

振鏡                             *大掃描速度                      mm/s                    7000毫米/秒

                                        振鏡類型                      數(shù)字/模擬               高速數(shù)字式振鏡

                                         *大負(fù)載                         Kg                            1.5千克

協(xié)作機(jī)械手                        *大臂長(zhǎng)                       mm                             400毫米

                                         重復(fù)精度                        mm                           正負(fù)0.03毫米

                                         Z向行程                         mm                             210微米

                                           電源                          AC                       兩相220~240V 50HZ

                                       *大耗電量                       Kw                           1.5千瓦

                                      單獨(dú)接地電阻                       Ω                             小于4歐

                                      共用接地電阻                       Ω                             小于1歐

                                     壓縮空氣供給壓力                    MPa                   0.5~0.8兆帕

                                       廠務(wù)真空供給                      Kpa                         -0.6千帕

其他規(guī)格                          排風(fēng)口口徑                        mm                           50毫米