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日立分析儀器(上海)有限公司

化工儀器網>產品展廳>分析儀器>光譜>激光拉曼光譜(RAMAN)>SPM300 半導體參數測試儀

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SPM300 半導體參數測試儀

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先鋒科技是國內的光電產品系統集成商之一,總部位于香港。目前擁有員工30余人,銷售工程師及技術服務工程師全部具有相關專業的大學本科及以上學歷。憑借在光電領域前沿的不斷探索,公司不僅為用戶提供國外原廠生產的各類標準產品,而且致力于根據用戶的具體要求,提供完整的系統解決方案,包括設計、生產、集成和二次開發等。

公司一直持續關注光電類前沿的技術產品,從初期只與有限幾個品牌有業務關系,發展到現在與幾十家歐美公司長期密切合作。公司提供的產品,其涵蓋面也從初的光譜儀器單一類別,發展到現在的成像產品、各種激光器、激光測試、太赫茲、光度色度測試、光電元器件、光學元件、精密光學機械運動控制等幾乎所有光電行業產品系列。公司實行不同產品系列團隊負責制,力爭將銷售和技術崗位的工程師都培養成為各自負責產品類別的人才,實實在在地讓客戶體會到專業團隊的專業服務!

公司擁有一支具備專業知識的銷售工程師團隊,并始終要求相關團隊成員,在銷售過程中從各個領域內的用戶處時刻更新自己的知識內容,保持對各應用領域內新研究內容的了解,從而能夠結合儀器設備的技術特點,按照廣大用戶的不同應用要求,提供準確、先進的各種儀器解決方案。

公司的技術服務工程師積累了豐富的儀器安裝、調試及故障解決經驗,并不斷結合科研生產儀器設備的新技術發展及用戶的要求,努力完善售后服務體系,力爭做到在盡可能短的時間內為用戶提供迅速有效的技術響應,使用戶的各種技術服務要求盡量得到滿足。針對主營產品和業務,公司每年定期安排技術服務工程師參加各類技術培訓,購買相應的零配件,力爭做到絕大部分的主流產品維修本地化,免除由于路程往返造成的時間、費用和工作效率上的損失。

公司商務部門的貿易專員,每年均要處理大量的貿易合同。公司商務團隊,以其豐富貿易經驗,努力協調公司內外以及公司內部各部門的行動,力爭讓用戶在短的時間內收到訂購的儀器,享受到相應的服務。

全體員工努力工作的目標是:把公司建設成為一個光電行業系統集成業務市場中,先鋒科技衷心希望得到新老客戶一如既往的支持!

 

 

 

 

光譜相關產品,激光與測量系統,影像采集,光度色度儀器,探測器產品,氣體傳感器,光學元件等光電產品

應用領域 電子,綜合

基于拉曼光譜法的半導體參數測試儀,具有非接觸、無損檢測、特異性高的優點。可以對半導體材料進行微區分析,空間分辨率< 800nm (典型值),也可以對樣品進行掃描從而對整個面進行均勻性分析。設備具有智能化的軟件,可對數據進行擬合計算,直接將載流子濃度、晶化率、應力大小或者分布等結果直觀的展現給用戶。系統穩定,重復性好,可用于實驗室檢驗或者產線監測。



① 光路接口盒:

內置常用激光器及激光片組,拓展激光器包含自由光及單模光纖輸入;

② 光路轉向控制:

光路轉向控制可向下或向左,與原子力、低溫、探針臺等設備連用,可升級振鏡選項

③ 明視場相機:

明視場相機代替目鏡

④ 顯微鏡:

正置科研級金相顯微鏡,標配落射式明暗場照明,其它照明方式可升級

⑤ 電動位移臺:

75mm*50mm 行程高精度電動載物臺,1μm 定位精度

⑥ 光纖共聚焦耦合:

光纖共聚焦耦合為可選項,提高空間分辨率

⑦ CCD- 狹縫共聚焦耦合:

標配CCD- 狹縫耦合方式,可使用光譜儀成像模式,高光通量

⑧ 光譜CCD:

背照式深耗盡型光譜CCD相機, 200-1100nm 工作波段,峰值QE > 90%

⑨ 320mm 光譜儀:

F/4.2高光通量影像校正光譜儀, 1*10-5 雜散光抑制比


SPM300 半導體參數測試儀主要應用


選型表

型號

描述

SPM300-mini

基礎款半導體參數分析儀,只含一路532nm 激光器,常規正置顯微鏡,光譜儀,高精度XYZ 位移臺

SPM300-SMS532

多功能型半導體參數分析儀,含532nm 激光器,常規正置顯微鏡,光譜儀,高精度XYZ 位移臺,

可升級耦合最多4 路激光器

SPM300-OM532

開放式半導體參數測試儀,含532nm 激光器,定制開放式顯微鏡,光譜儀,高精度XYZ 位移臺,

可升級耦合最多4 路激光器


系統參數

項目

詳細技術規格

光源

標配532nm,100mW 激光器,其他激光可選,最多耦合4 路激光,可電動切換,功率可調節

光譜儀

320mm 焦距影像校正光譜儀,光譜范圍90-9000cm-1,

光譜分辨率

2cm-1

空間分辨率

<1μm

樣品掃描范圍

標配75mm*50mm,最大300mm*300mm

顯微鏡

正置顯微鏡,明場或者暗場觀察,帶10X,50X,100X 三顆物鏡;開放式顯微鏡可選

載流子濃度分析

測試范圍測試范圍1017 ~ 1020 cm-3,重復性誤差<5%

應力測試

可直觀給出應力屬性(拉力/ 張力),針對特種樣品,可直接計算應力大小,應力均勻性分析

(需額外配置電動位移臺), 應力解析精度0.002cm-1

晶化率測試

可自動分峰,自動擬合,自動計算出晶化率,并且自動計算晶粒大小和應力大小

測試案例舉例



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