光刻機,鍍膜機,磁控濺射鍍膜儀,電子束蒸發(fā)鍍膜儀,開爾文探針系統(tǒng)(功函數(shù)測量),氣溶膠設備,氣溶膠粒徑譜儀,等離子增強氣相沉積系統(tǒng)(PECVD),原子層沉積系統(tǒng)(ALD),快速退火爐,氣溶膠發(fā)生器,稀釋器,濾料測試系統(tǒng)
半自動切片機(16英寸)-半導體材料
特性
–雙刀片半自動劃片機/切片機(12英寸,16英寸)
– 最大 16 英寸 (300mm x 300mm)
– 雙面主軸 – UPH 增加( x 1.95)
– 可選項 : 3 英寸刀片, BBD(刀片斷裂檢測儀)、NCS(非接觸式傳感器)– 真空卡盤:300mm x 300mm 方形
半自動切片機(16英寸)-半導體材料
性能
– 多工件(切割)功能
– 2.4kw 空氣主軸 x 2 套,面向雙主軸
– 最大主軸轉(zhuǎn)速 : 60,000rpm
– 刀片尺寸 : 62(適用于 2“ 刀片)
– 旋轉(zhuǎn)角度 : DD 伺服馬達 380(CW/CCW)
– 切割速度 : 0.05 ~ 650毫米/秒
可切割材料 :晶圓、大型半封裝、大尺寸PCB等
技術參數(shù):
型號 | SD440 | SD450 | |
環(huán)形框架尺寸 | 12寸 | 16英寸(300毫米x 300米見方) | |
工作尺寸 | 320 | 方形 300 毫米 x 300 毫米 | |
X 軸 | 切割范圍 | 330毫米 | 350毫米 |
切割速度 | 0.05~650毫米/秒 | 0.05~650毫米/秒 | |
Y1/Y2 軸 | 切割范圍 | 320毫米 | 350毫米 |
最大索引步長 | 0.001毫米 | 0.001毫米 | |
索引定位步驟 | 0.001/320毫米 | 0.001/350毫米 | |
Z1-Z2 軸 | 最大行程 | 40(適用于2“刀片) | 40(適用于2“刀片) |
移動分辨率 | 0.001毫米 | 0.001毫米 | |
重復性 精度 | 0.001毫米/5毫米 | 0.001毫米/5毫米 | |
T 軸 | 最大旋轉(zhuǎn)角度 | DD 伺服 380(連續(xù)/變速) | DD 伺服 380(連續(xù)/變速) |
刀片最大口徑 | 76.2毫米 | 76.2毫米 | |
紡錘 | 功率輸出 | 1.2~2.4KW | 1.2~2.4KW |
速度范圍 | 6000~60000轉(zhuǎn)/分 | 6000~60000轉(zhuǎn)/分 | |
使用電壓 | 三相,220V (50~60Hz) | 三相,220V (50~60Hz) | |
氣壓 | 0.5~0.6 MPA | 0.5~0.6 MPA | |
切割流量(分鐘) | 1.0~10.0 | 1.0~10.0 | |
切割流量(分鐘) | 3.0 | 3.0 |