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SD620, SD640 全自動(dòng)劃片機(jī)/切片機(jī)(12英寸)-半導(dǎo)體材料
- 公司名稱 科睿設(shè)備有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) SD620, SD640
- 產(chǎn)地 韓國(guó)
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2024/8/28 14:36:35
- 訪問(wèn)次數(shù) 1552
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光刻機(jī),鍍膜機(jī),磁控濺射鍍膜儀,電子束蒸發(fā)鍍膜儀,開爾文探針系統(tǒng)(功函數(shù)測(cè)量),氣溶膠設(shè)備,氣溶膠粒徑譜儀,等離子增強(qiáng)氣相沉積系統(tǒng)(PECVD),原子層沉積系統(tǒng)(ALD),快速退火爐,氣溶膠發(fā)生器,稀釋器,濾料測(cè)試系統(tǒng)
全自動(dòng)劃片機(jī)/切片機(jī)(12英寸)-半導(dǎo)體材料
特性
– 全自動(dòng)劃片機(jī)/切片機(jī)(6-8英寸,12英寸)
– 最大 12 英寸硅晶圓
– 雙面主軸, 產(chǎn)量增加( x 1.95)
– 選項(xiàng) : 3 英寸刀片, BBD(刀片斷裂檢測(cè)儀)、NCS(非接觸式傳感器)
全自動(dòng)劃片機(jī)/切片機(jī)(12英寸)-半導(dǎo)體材料
性能
– 多工件(切割)功能– 1.2kw ~ 1.8kw, 2.4kw 空氣主軸 x 2 套,面向雙主軸
– 刀片尺寸 : 62(適用于 2“ 刀片)
– 旋轉(zhuǎn)角度 : DD 伺服 380(連續(xù)/逆時(shí)針)
可切割材料:硅晶圓、QFN、陶瓷、印刷電路板、石英、LED、移動(dòng)式藍(lán)色濾光片、碳化硅等
技術(shù)指標(biāo):
型 | SD620 | SD640 | |
環(huán)形框架尺寸 | 6~8寸 | 12寸 | |
工作尺寸 | 200 | 300 | |
X 軸 | 切割范圍 | 250毫米 | 320毫米 |
切割速度 | 0.05~650毫米/秒 | 0.05~650毫米/秒 | |
Y1/Y2 軸 | 切割范圍 | 250毫米 | 320毫米 |
索引步長(zhǎng) | 0.001毫米 | 0.001毫米 | |
索引定步長(zhǎng) | 0.001/250毫米 | 0.001/320毫米 | |
Z1-Z2 軸 | 最大行程 | 40(適用于2“刀片) | 40(適用于2“刀片) |
移動(dòng)分辨率 | 0.001毫米 | 0.001毫米 | |
重復(fù)性 精度 | 0.001毫米/5毫米 | 0.001毫米/5毫米 | |
T 軸 | 最大旋轉(zhuǎn)角度 | DD 伺服 380(連續(xù)/變速) | DD 伺服 380(連續(xù)/變速) |
刀片最大口徑 | 76.2毫米 | 76.2毫米 | |
紡錘 | 功率輸出 | 1.2~2.4KW | 1.2~2.4KW |
速度范圍 | 6000~60000轉(zhuǎn)/分 | 6000~60000轉(zhuǎn)/分 | |
使用電壓 | 三相,220V (50~60Hz) | 三相,220V (50~60Hz) | |
氣壓 | 0.5~0.6MPA | 0.5~0.6 | |
切割流量(分鐘) | 1.0~12.0 | 1.0~12.0 | |
切割流量(分鐘) | 3.0 | 3.0 |