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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>工藝測量和檢測設備>晶圓缺陷光學檢測設備>KINO LOADER wafer loader

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KINO LOADER wafer loader

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晶圓輸送LOADER

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  迪合光電科技(上海)有限公司是LEICA光學儀器在江,浙,滬工業區域的徠卡顯微鏡總代理,以經營、開發、應用、服務于一體的上海自貿區企業,致力于為工業,電子制造業和科研領域用戶提供顯微光學檢測和自動影像測量,計量, 分析及過程控制等解決方案。

  本公司產品有:德國LEICA系列顯微鏡、成像和圖像分析軟件,德國ZEISS復合式三坐標,自動影像量測儀,日本NIKON 投影機、測量顯微鏡、高度計,美國OGP自動影像量測系統,光學成像儀器的維護及改造, 云端MES軟件等。

  本公司產品廣泛應用于:汽車電子,汽車零部件,鋼鐵行業,光電顯示制造,電子零件制造,精密部件加工、半導體晶圓測試、微納電子制造,科研高校等領域。

本公司秉承“誠信、服務、專業、創新”的經營理念,擁有高素質的專業人員為您提供優質的售前、售中、售后服務,并可應客戶要求開發或共同開發其他應用光學產品,為廣大的國內生產和科研用戶提供與同步的專業服務,更好地創造產品價值和顧客價值。


顯微鏡 /徠卡顯微鏡/尼康顯微鏡/工具顯微鏡/金相顯微鏡/視頻顯微鏡/體視顯微鏡

晶圓檢測系統結合了德國Leica公司的光學顯微鏡,解決了半導體客戶對8英寸及以下尺寸晶圓、第1/2/3代半導體材料晶圓傳送和光學檢測需求。該系統可以兼容第一~第三代材料,不透明材質\半透明\全透明材質的晶圓。該系統可以升級成為全自動檢測系統(可以選配AOI/AI智能檢測軟件),可以針對特殊工藝晶圓、特殊標記Mark、雙平邊晶圓等進行相應的擴展或者改造,可以選配SMIF系統、SECS/GEM。

本設備整體兼容6&8英寸晶圓,適用于硅片(不透明材質)、碳化硅及其它透明/半透明材質晶圓片。設備可識別Flat\Notch,支持晶圓厚度范圍:8英寸300um~1000um / 6英寸200um~1000um。



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