我司具有大量博士研究生等高學歷人才,設備所涉及到的軟件、自動化和機械等均有自己的知識產(chǎn)權 ,也可依據(jù)客戶需求,完成定制化設備的研發(fā)生產(chǎn)。
工藝應用:
快速熱處理(RTP),快速退火(RTA),快速熱氧化(RTO),快速熱氮化(RTN);
離子注入/接觸退火;
高溫退火;
高溫擴散。
金屬合金;
熱氧化處理;
應用領域:
化合物半導體(砷化鎵、氮化物、碳化硅等);
多晶硅;
太陽能電池片;
MEMS;
功率器件;
IC晶圓;
LED晶圓。
量伙半導體設備(上海)有限公司成立于2018年,位于上海市浦東新區(qū)。公司專注于半導體芯片設備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售,為半導體芯片制造行業(yè)提供優(yōu)秀的設備和高質(zhì)量的服務、
公司在安徽合肥設有研發(fā)、生產(chǎn)基地,在北京、西安設有辦事處。
公司自主研發(fā)的快速退火爐RTP具有國內(nèi)xianjin的技術水平,已在Fab廠、研究所、高校等芯片生產(chǎn)單位得到廣泛應用。