DM200-SE 全封閉顯影機
具體成交價以合同協(xié)議為準
- 公司名稱 江蘇雷博科學儀器有限公司
- 品牌 LEBO/雷博
- 型號 DM200-SE
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2024/11/6 18:58:16
- 訪問次數(shù) 2531
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產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應用領(lǐng)域 | 化工,生物產(chǎn)業(yè),能源,電氣,綜合 |
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全封閉顯影機優(yōu)勢
·全封閉式顯影,避免霧氣擴散到外部,污染環(huán)境。
·外殼噴塑,耐腐蝕,易清洗。
·內(nèi)腔鍍特氟龍,光滑,耐腐蝕,易清洗。
·內(nèi)置真空過濾器,防止液體吸入真空泵。
·真空壓力可調(diào),壓力值實時顯示。
·液體流量可調(diào),回吸可調(diào)。
全封閉顯影機參數(shù)
支持wafer尺寸:碎片至200mm(8"圓晶)
·轉(zhuǎn)速分辨率:±1 RPM
·旋涂速度:20-3000rpm(空載)
·旋涂加速度:10-10,000rpm/sec(空載)
·工藝時間設(shè)定: 0-3,000sec/step,時間設(shè)置精度: 0.1sec
·該機型適用于標準3路顯影機(1路洗衣液,1路純水,1路氮氣)
·單步工藝及多步工藝可選,內(nèi)置100組可編輯程序
·可根據(jù)客戶需求定制四管路顯影機或更大基片的顯影機。
設(shè)備配有一路顯影和一路水、一路氣吹功能,并且噴嘴位置可程控移動,實現(xiàn)自動顯影和清洗作業(yè)。