5911D4 科氏液體質(zhì)量流量控制器
- 公司名稱 格里機電(無錫)有限公司
- 品牌 GRYLLS/格里爾斯
- 型號 5911D4
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2024/6/25 11:21:50
- 訪問次數(shù) 1186
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,能源,電子 |
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科氏液體質(zhì)量流量控制器用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制。它們在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空燈多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。其典型的應(yīng)用場合包括:電子工藝設(shè)備,如擴散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入;以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器
科氏液體質(zhì)量流量控制器5911D4主要技術(shù)指標
1 | 量程范圍 | (0~5,10,20,30,50,100,200,300,500 )SCCM (0~1,2,3,5,10,50,100,200,500 3000) SLM |
2 | 準確度 | ±1%F.S ±0.5%F.S |
3 | 線性 | ±0.5~1.5%F.S |
4 | 重復(fù)精度 | ±0.2%F.S |
5 | 響應(yīng)時間 | 電特性:10sec 氣特性:(1~4)sec |
6 | 工作壓差 | 0.1~0.5MPa |
7 | 耐壓 | 3MPa |
8 | 工作環(huán)境溫度 | 0~70℃ |
9 | 數(shù)字量 | RS485 MODBUS協(xié)議 |
10 | 模擬量 | DC 0~5V ,4~20mA 可選 |
11 | 供電 | DC +15V/24V 可選,流量計<400mA,控制器<600mA |
12 | 電氣連接 | DB15 |
13 | 漏率 | 1×10\u001F-8SCCSH |