英福康CDG025D電容膜片式真空計377-001
參考價 | ¥ 88888 |
訂貨量 | ≥1 mg |
- 公司名稱 成都四洋科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產地
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2024/11/12 10:02:25
- 訪問次數 286
聯系我們時請說明是化工儀器網上看到的信息,謝謝!
產地類別 | 進口 | 價格區間 | 面議 |
---|---|---|---|
量程 | 100毫乇 … 10乇mbar | 應用領域 | 環保,化工,能源,電子,航天 |
英福康CDG025D電容膜片式真空計377-001
INFICON SKY CDG025D 電容膜片真空計是高精度溫度補償型真空計設計用于在嚴酷的制造工具環境中具有穩定的性能.數字電子學提高真空計的性能和提供容易操作的特點如一鍵調零的功能和設點調整. 抗腐蝕的超純陶瓷傳感器提供良好的零點穩定性, 以及引起能達到數百萬次壓力循環包括大氣沖擊的長的使用壽命.*的傳感器屏蔽保護真空計防止過程污染. 經久耐用的機械結構和數字電子學提高 EMC 兼容性, 長期穩定性和溫度補償能力. CDG025D 為加電源后的快速穩定性和暴露大氣后的快速恢復性設定新的標準.
優勢:
全量程范圍從100毫乇 … 1000乇
加電源后快速穩定性
從大氣壓的快速恢復性
抗腐蝕的陶瓷傳感器
長期訊號穩定性
溫度補償
傳感器有防污染保護
一鍵調零功能
寬范圍電源
兩個設點 (可選)
RS232 接口 (可選)
用途:
半導體制造設備用于刻蝕, CVD, PVD, ALD
數據貯存和顯示器制造設備
工業真空設備
一般高精度壓強測量
技術規格
滿量程范圍(Torr) | 1000 | 100 | 10 | 1 | 0.1 |
精度 | 0.2%讀數 | 0.5%讀數 | |||
溫度效應 |
|
|
| ||
分辨率 | 0.003%滿量程 | ||||
壓強(壓力) | 400Kpa | 260Kpa | 130Kpa | ||
響應時間 | 30ms | 130ms | |||
低壓強讀值 | 0.01%滿量程 | ||||
低建議壓強 | 0.05%滿量程 | ||||
低建議控制 | 0.5%滿量程 | ||||
電源電壓 | +14至+30Vdc | ||||
輸出信號 | 0至+10V模擬量 | ||||
電氣連接件 | D-sub 15針 | ||||
工作溫度 | +5至+50℃ | ||||
烘烤溫度 | ≤110℃法蘭處(未運行) | ||||
安裝方位 | 垂直 | ||||
防護等級 | IP30 |
訂貨號:
CDG025D電容膜片式真空計377-001 10Torr DN 16 ISO-KF